Американские микромеханические датчики массового расхода газа Siargo серии FS8000 - FS8001/FS8003
Диапазон расхода: 0~500 sccm
Точность: ± (2+0,5FS)%
Повторяемость: ± 1,0
Выходной сигнал: линейный, аналоговое напряжение 0,5~4,5 В пост. тока (опционально цифровой выход IC)
Время отклика: 10 мс
Рабочая температура: 0 ~ +55℃,
Рабочая влажность: <95% отн. влажности (без обледенения, без конденсации)
产品介绍
I. Введение в продукт: микромеханический датчик массового расхода газа серии FS8000:
FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。
II. Особенности продукта: микромеханический датчик массового расхода газа серии FS8000:
Высокая чувствительность датчика, чрезвычайно малый начальный расход
Быстрый отклик
Низкая потеря давления
Удобство монтажа
3.Серия FS8000Технические параметры микромеханического датчика массового расхода газа:
| 项目 |
FS8001 |
FS8003 |
Единица измерения |
| 流量范围 |
(0~500) sccm |
(0~6) SLPM |
|
| 精度 |
±(2. 0+0. 5FS) |
% |
|
| 重复性 |
±1. 0 |
% |
|
| Дрейф нулевого выходного сигнала |
±30 |
mV |
|
| Дрейф выходного сигнала |
±0. 12 |
% / ℃ |
|
| 响应时间 |
10 |
ms |
|
| 工作电源 |
8~24 |
VDC |
|
| Способ вывода |
Линейный, аналоговое напряжение 0,5~4,5 В пост. тока (опционально цифровой выход IC)Выход сигнала) |
|
|
| Максимальное рабочее давление |
0.3 |
MPa |
|
| 工作温度 |
0 ~ +55 |
℃ |
|
| Температура хранения |
-20 ~ +65 |
℃ |
|
| Рабочая влажность |
<95% отн. влажности (без обледенения, без конденсации) |
|
|
| Электрический интерфейс |
SM 05B-SRSS-TB (JST) |
|
|
| Механический интерфейс |
Отверстие с резьбой M5 |
Rc1/8 (вход)Отверстие)/резьбовое отверстие M5 (выход) |
|
| Стандартный метод |
Воздух (20℃, 101,325 кПа) |
|
|
