제품 소개
1. FS8000 시리즈 MEMS 가스 질량 유량 센서 제품 소개:
FS8000 시리즈 MEMS 가스 질량 유량 센서는 각종 산업 공정 제어를 위해 특별히 설계되었습니다. 제품은 두 가지 측정 범위가 있으며 나사산 인터페이스로 설치가 용이하여 다이 본딩 장비 등 다양한 산업 설비에 사용할 수 있습니다.
2. FS8000 시리즈 MEMS 가스 질량 유량 센서 제품 특징:
센서 감도가 높고 시작 유량이 매우 작습니다
响应速度快
낮은 압력 손실
설치 용이
삼、FS8000 시리즈MEMS 가스 질량 유량 센서 기술 사양:
| 프로젝트 |
FS8001 |
FS8003 |
단위 |
| 유량 범위 |
(0~500) sccm |
(0~6) SLPM |
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| 정확도 |
±(2. 0+0. 5FS) |
% |
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| 반복성 |
±1. 0 |
% |
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| 영점 출력 드리프트 |
±30 |
mV |
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| 출력 드리프트 |
±0. 12 |
% / ℃ |
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| 응답 시간 |
10 |
ms |
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| 작동 전원 |
8~24 |
VDC |
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| 출력 방식 |
선형, 아날로그 전압 0.5~4.5VDC(IC 디지털신호 출력) |
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| 최대 작동 압력 |
0.3 |
MPa |
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| 작동 온도 |
0 ~ +55 |
℃ |
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| 보관 온도 |
-20 ~ +65 |
℃ |
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| 작동 습도 |
<95% RH (결빙 없음, 결로 없음) |
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| 전기 인터페이스 |
SM 05B-SRSS-TB (JST) |
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| 기계적 인터페이스 |
M5 나사 구멍 |
Rc1/8(입구구)/M5 나사 구멍(출구) |
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| 표준 방식 |
공기(20℃, 101.325kPa) |
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주요 응용 분야
- 다이 본더 — 반도체 다이 본딩 공정에서 정밀한 가스 유량 제어를 통해 안정적인 접합 품질을 보장합니다.
- 산업 공정 제어 — 화학, 제약, 식품 등 다양한 산업 공정에서 가스 질량 유량을 정밀하게 모니터링하고 제어합니다.
- 가스 분석 장비 — 가스 크로마토그래피, 질량 분석기 등 분석 장비의 캐리어 가스 유량을 정확하게 제어합니다.
- 의료 기기 — 호흡기 치료기, 마취기 등 의료 장비에서 정밀한 가스 유량 제어에 사용됩니다.
- 환경 모니터링 — 대기 오염 측정 및 배출가스 모니터링 시스템에서 가스 샘플링 유량을 제어합니다.
키워드：Siargo FS8000, MEMS 가스 유량 센서, 질량 유량 센서, FS8001, FS8003, 가스 질량 유량계, 산업용 유량 센서, 마이크로 가스 센서
