Capteur de débit massique de gaz micro-électromécanique Siargo FS8000 série américaine - FS8001/FS8003
Plage de débit : 0~500 sccm
Précision : ± (2+0,5FS)%
Répétabilité : ± 1,0
Mode de sortie : linéaire, tension analogique 0,5~4,5 V DC (sortie numérique IC en option)
Temps de réponse : 10 ms
Température de fonctionnement : 0 ~ +55 ℃,
Humidité de fonctionnement : <95 % HR (sans gel, sans condensation)
Présentation du produit
I. Introduction du produit du capteur de débit massique de gaz micro-électromécanique série FS8000 :
FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。
II. Caractéristiques du produit du capteur de débit massique de gaz micro-électromécanique série FS8000 :
Haute sensibilité du capteur, débit de démarrage extrêmement faible
Temps de réponse rapide
Faible perte de charge
Installation facile
3.Série FS8000Paramètres techniques du capteur de débit massique de gaz micro-électromécanique :
| Projet |
FS8001 |
FS8003 |
Unité |
| Plage de débit |
(0~500) sccm |
(0~6) SLPM |
|
| Précision |
±(2. 0+0. 5FS) |
% |
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| Répétabilité |
±1. 0 |
% |
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| Dérive du point zéro de sortie |
±30 |
mV |
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| Dérive de sortie |
±0. 12 |
% / ℃ |
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| Temps de réponse |
10 |
ms |
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| Alimentation de travail |
8~24 |
VDC |
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| Mode de sortie |
Linéaire, tension analogique 0,5~4,5 V DC (sortie numérique IC en option)Sortie de signal) |
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| Pression de service maximale |
0.3 |
MPa |
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| Température de fonctionnement |
0 ~ +55 |
℃ |
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| 储存温度 |
-20 ~ +65 |
℃ |
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| 工作湿度 |
<95 % HR (sans gel, sans condensation) |
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| Interface électrique |
SM 05B-SRSS-TB (JST) |
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| Interface mécanique |
Trou taraudé M5 |
Rc1/8 (entréeRc1/8 (entrée)/trou taraudé M5 (sortie) |
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| Mode standard |
Air (20 ℃, 101,325 kPa) |
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