製品紹介
一、FS5001Lシリーズガス流量センサー製品説明
FS5001Lシリーズガス流量センサー各種小流量ガスの測定とプロセス制御のために特別に設計されています。このシリーズのセンサーはすべて、当社が独自に開発したMEMS（微電気機械システム）流量センサーチップを使用して作られており、各種の清潔で乾燥したガスに適しています。センサーは表面実装方式を採用しており、取り付け寸法がよりコンパクトになり、狭いスペースでのマルチセンサー統合を容易に実現できます。
二、FS5001Lガス流量センサー製品特長
センサー感度が高く、極小の始動流量
表面実装方式、コンパクトな構造
多種の信号出力
ゼロ点安定度が高い
全レンジ高安定性、高精度、優れた再現性
低消費電力、低圧力損失
三、FS5001Lガス流量センサー機械寸法
四、FS5001Lガス流量センサー技術パラメータ
五、FS5001Lガス流量センサー製品選定
