製品紹介
一、米国SiargoMEMSガス質量流量センサー FS1015CLシリーズ製品説明：
FS1015CLシリーズMEMSガス質量流量センサーは、各種医療用ガスの測定とプロセス制御のために設計されています。製品はMEMS（微電気機械システム）流量センシングチップを使用して作られており、各種クリーンガスに適しています。低コストで、取り付けが容易で、温度・圧力補償が不要で、容積式や差圧式の従来の流量計を代替できます。
二、米国SiargoMEMSガス質量流量センサー FS1015CLシリーズ製品の特徴：
-
人工呼吸器と麻酔器の流量測定ニーズに特化して設計されています
-
高感度で、熱式質量流量計の原理を応用し、8mm/secまでの流体流量を測定できます
-
バイパス構造なし、低圧力損失
-
センサーのゼロ点安定性が高い
-
消毒液による殺菌処理後、再利用可能
-
自動レンジ切替スイッチ設計により測定精度が向上
-
ホスト機器のユーザーインターフェースで線形出力を簡単に実現
三、米国SiargoMEMSガス質量流量センサー FS1015CLシリーズ機械図：
四、米国SiargoMEMSガス質量流量センサー FS1015CLシリーズ技術パラメータ：
| 製品 |
FS1015CL |
単位 |
| 流量範囲 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
| レンジ比 |
100：1 |
|
| 精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
| 再現性 |
0.25 |
% |
| ゼロ点出力ドリフト |
±30 |
mV |
| 出力ドリフト |
±0.12 |
%/ ℃ |
| 応答時間 |
8 |
ms |
| 動作電圧 |
5±1% |
Vdc |
| 出力方式 |
線形、アナログ電圧0.5~4.5Vdc |
|
| 流量圧力損失 |
1300 |
Pa |
| 動作圧力 |
0.2 |
MPa |
| 動作温度 |
-10~+55 |
℃ |
| 保存温度 |
-20~+65 |
℃ |
| 動作湿度 |
<95%RH（結氷・結露なし） |
|
| 電気的インターフェース |
5ピンソケット、AMP 103956-4 |
|
| 機械的インターフェース |
ISO-15mm |
|
| 校正方法 |
空気、20℃、101.325kPa |
|
| 重量 |
21.5 |
g |
