ピラニ真空センサー - F6000

ピラニ真空センサーF6000製品説明

F6000シリーズMEMSピラニ真空センサーは画期的な真空測定ソリューションを提供します。このセンサーは外形が微小でありながら、超低消費電力、長寿命、低メンテナンス、低コストの利点を備えています。

「ガスの熱伝導率は低真空範囲の圧力に比例する」という原理に基づき、F6000シリーズ真空センサーは、周囲のガスへの熱伝達による発熱素子の微小な抵抗変化を測定します。
この発熱素子（測定抵抗）は、断熱膜上に配置された白金薄膜抵抗で構成されています。断熱膜は、微細加工された25μm深さの空洞の上に浮かせてあり、空洞の底面は断熱膜と平行で、熱伝達率の精密測定を保証します。被測定ガスの体積が極めて小さい（空洞容積が小さい）ため、このセンサーは超低消費電力と高速応答を実現します。
F6000シリーズ真空センサーは、測定抵抗と同じ抵抗温度係数（TCR）を持つ基準抵抗も備えており、センサーチップ基板上に配置されています。センサー回路はこれを使用して周囲温度補償を行うことができます。

高信頼性、低コスト、使いやすさ、超低消費電力という利点により、MEMSプロセスで加工された小型化ピラニ技術は業界標準になりつつあります。F6000シリーズMEMSピラニ真空センサーは、お客様がこのトレンドを活用して既存製品の改善や新製品の開発を行うのに役立ちます。

ピラニ真空センサーF6000絶対最大定格：
動作温度：-40°C～125°C（より高温のモデルも提供可能）
湿度：0～100%RH、結露なし
耐衝撃性：1000g
過圧：27.5 Bar

ピラニ真空センサーF6000センサー特長

超低消費電力<5mW
高速応答時間<5ms
耐衝撃性1000gまで
測定可能なガス体積は最小0.1cm3
低ノイズ
高分解能
同一チップ上で温度センシング
長期安定性
溶剤浸漬洗浄が可能で、寿命が延びます

ピラニ真空センサーF6000主な用途

分析機器
前真空を使用する密閉システムのリーク検出
半導体製造装置
真空包装機
ポータブルデジタル真空計
小型機械システム（ポンプなど）で規定の真空度を達成
1Torr以下の真空度を確認する低コスト真空スイッチ