製品紹介
一、ガス質量流量センサーAWM43600の説明
AWM40000シリーズには、増幅なしおよび増幅/信号処理付きの信号が含まれます。AWM42150VとAWM42300は、AWM2000と同じ回路を使用します。AWM43300VとAWM43600Vは、AWM3000と同じ回路を使用します。AWM43600Vは6SLPMデバイスです。
二、ガス質量流量センサーAWM43600の特徴:
1) 複数集中取り付け、Oリングシール
2) セラミック流量管(ガス導入管なし):0-1000sccm
3) プラスチック流量管(ガス導入管なし):0-6SLPM
4) 高コモンモード圧力(150psi)
5) 動作温度は125℃まで
6) ゼロ点とフルスケールの高安定性