ガス質量流量センサー - FS4000シリーズ

一、ガス質量流量センサーFS4000シリーズ(FS4003およびFS4008)製品概要

FS4000シリーズ質量流量センサーは、MEMS流量センサー技術とインテリジェント電子制御技術を採用し、一般的なガス流量監視のために開発された製品です。このセンサーはガス質量流量を直接測定でき、低圧損です。浄化空気または窒素流量監視に適しており、環境サンプラー（クロマトグラフィー分析機器など）にも使用できます。
FS4003ガス質量流量センサーは、パイプ内径3mm、低コストで測定範囲は5SLPMまで。粒子カウンターや各種分析機器に適しています。
FS4008ガス質量流量センサーは、パイプ内径8mm、測定範囲は50SLPMまで。麻酔機器、クリーンガス検知（エアサンプリングマシン、ガス分析計など）に使用できます。

二、ガス質量流量センサーFS4000シリーズ(FS4003およびFS4008)製品の主な特長
1）内径3mmおよび8mmのエアチューブ内の低圧ガス流量測定用に設計
2）複数の接続方法をサポートし、取り付けと使用が簡単
3）センシングチップは熱式質量流量計測を採用し、温度・圧力補償が不要で、センサーの高精度計測を保証
4）単一チップ上に複数センサーを集積し、レンジ比を100:1以上に達成
5）出力方法は柔軟で、通信インターフェースを介してデータを能動的にアップロードまたはホストコンピュータから照会でき、アナログインターフェースを介して線形アナログ電圧を出力することも可能
6）ゼロ点安定性が高い
7）全レンジで高安定性、高精度、優れた再現性
8）低消費電力、低圧損
9）応答速度が速い

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三、ガス質量流量センサーFS4000シリーズ(FS4003およびFS4008)製品技術パラメータ

性能パラメータ	FS4003	FS4008	単位
口径	3	8	mm
流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
レンジ比	100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
再現性	0.75		%
ゼロ点出力ドリフト	±30		mV
出力ドリフト	±0.12		%/oC
応答時間	10（デフォルト、20,50,100,200,500,1000に設定可能）		ms
動作電源	8~18Vdc,100mA
出力方式	リニア、RS232/アナログ電圧0.5~4.5Vdc
流量圧損	100	600	pa
動作圧力	0.5		MPa
動作温度	-10 ~ +55		℃
保管温度	-20 ~ +65		℃
動作湿度	<95%RH（結氷、結露なし）
機械的インターフェース	BSPT1/4(R1/4)、4mm/6mm/8mmクイックコネクタ	BSPT1/4(R1/4)
校正方法	空気（またはその他のガス）、20℃、101.325kPa
重量	57（R1/4、BSPT1/4インターフェース付き）		g
	71（4mm、8mmクイックインターフェース付き）
	68（6mmクイックコネクタ付き）