液体流量センサー - SLQ-QT105

一、液体流量センサーSLQ-QT105製品説明

コーティングシステムの高級ニーズに対応するため、新製品SLQ-QT105を発表しました。液体流量センサーこれは半導体レベルのセンサーソリューションであり、120ML/MIN未満の流速の炭化水素化合物（フォトレジストや溶剤など）を測定するために使用されます。十分に検証された熱式マイクロセンサー技術を採用しているため、感度、安定性、速度の面で新たな高みを切り開きました。液体流量センサーSLQ-QT105の極めて短い応答時間は、高速給料動作などの高速な動的変化プロセスを正確に監視できます。液体流量センサーSLQ-QT105には4X3MMのPFAパイプが装備されており、可動部品がなく、ストレートパイプの流路壁内で非侵襲的な測定が可能です。センサーにはスマートデジタルインターフェースが装備され、信頼性の高いRS485通信プロトコルは長距離通信に適しており、大容量のバス容量を備えています。

二、液体流量センサーSLQ-QT105の特性

• 測定範囲は最大120ML/MIN（炭化水素系液体）

• 小流量範囲でも最高の分解能を維持

• 応答時間は最短30ms

• RS485デジタルインターフェース

• フォトレジストおよび溶剤の測定用

• ストレートパイプ、可動部品なし

• 保証された清浄度

• 優れた耐薬品性、不活性材料

• 接液材質：PCTFE、石英ガラスのみ

• 最大使用圧力3bar（特定の要件に応じて圧力を上げることが可能）

三、液体流量センサーSLQ-QT105の応用分野

• ハイエンド半導体プロセス制御

• 高速給料操作