液体流量传感器 - SLQ-QT105

一、液体流量传感器SLQ-QT105产品描述

针对镀膜系统的高端需求,我们推出一款新产品SLQ-QT105液体流量传感器，这是一款半导体级别的传感器解决方案，用于测量流速低于120ML/MIN 的碳烃化合物，例如光阻和溶剂。 由于采用充分验证的热式微传感器科技，其开辟了在灵敏度，稳定性及速度方面的新高度。液体流量传感器SLQ-QT105的极短的响应时间可以准确的监控高速动态变化过程，例如快速给料动作。液体流量传感器SLQ-QT105配有4X3MM的PFA管道，该设备无任何活动部件，可在直管流道的管壁里进行无侵害的测量。传感器配备智能数字接口，可靠的RS485的通讯协议适合于长距离通讯，具有较大的总线容量。

二、液体流量传感器SLQ-QT105特性

• 测量范围高达120ML/MIN（碳烃类液体）

• 在小流量范围内依然保持zui高的分辨率

• 快速响应时间低至30MS

• RS485数字接口

• 用于测量光阻及溶剂

• 直管管道，无活动部件

• 可保证的洁净度

• 卓越的耐化学性，惰性材料

• 触液材质：PCTFE, 仅石英玻璃

• zui大工作压力3bar (特定需求下可提高压力)

三、液体流量传感器SLQ-QT105应用领域

• 高端半导体过程控制

• 快速给料操作