제품 소개
1. 액체 유량 센서 SLQ-QT105 제품 설명
코팅 시스템의 고급 요구에 대응하여, 당사는 신제품 SLQ-QT105를 출시합니다.액체 유량 센서이는 반도체급 센서 솔루션으로, 유속이 120ML/MIN 미만인 탄화수소 화합물(예: 포토레지스트 및 용제)을 측정하는 데 사용됩니다. 충분히 검증된 열식 미세 센서 기술을 채택하여 감도, 안정성 및 속도 측면에서 새로운 높이를 개척했습니다.액체 유량 센서SLQ-QT105의 매우 짧은 응답 시간은 고속 급송 동작과 같은 고속 동적 변화 과정을 정확하게 모니터링할 수 있습니다.액체 유량 센서SLQ-QT105에는 4X3MM PFA 파이프가 장착되어 있으며, 이 장치는 가동 부품이 없어 직관 유로 벽 내에서 비침습적 측정이 가능합니다. 센서에는 지능형 디지털 인터페이스가 장착되어 있으며, 신뢰할 수 있는 RS485 통신 프로토콜은 장거리 통신에 적합하고 큰 버스 용량을 제공합니다.
2. 액체 유량 센서 SLQ-QT105 특성
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측정 범위 최대 120ML/MIN (탄화수소 액체)
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소유량 범위에서도 최고 분해능 유지
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빠른 응답 시간 최저 30MS
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RS485 디지털 인터페이스
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포토레지스트 및 용제 측정용
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직관 파이프, 가동 부품 없음
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보장된 청정도
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우수한 내화학성, 불활성 재료
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접액 재질: PCTFE, 석영 유리만
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최대 작동 압력 3bar (특정 요구 시 압력 상승 가능)
3. 액체 유량 센서 SLQ-QT105 적용 분야
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고급 반도체 공정 제어
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빠른 급송 작업