مستشعر تدفق السيليكون السويسري IST مستشعر تدفق الكتلة الحراري - SFS01

المعايير التقنية للمستشعر

الأبعاد (الطول × العرض × الارتفاع بالملليمتر)

6.00 (±0.05) x 2.00 (± 0.02) x 0.525 (±0.01)

نطاق درجة حرارة التشغيل

0 °C to +80 °C

نطاق درجة حرارة التخزين

-20 °C to +80 °C

تحمل الضغط

بحد أقصى 1 بار (الغشاء الأحادي يدوم 10 سنوات)

المعايير الكهربائية للمستشعر

طريقة التوصيل

وسادات الربط (عملية الربط الموصى بها: لحام إسفيني بسلك ألومنيوم على اللوحة)

مقاومة السخان

1‘000 Ω ± 20 %

مقاومة المزدوجة الحرارية

< 40 kΩ

حساسية المزدوجة الحرارية

> 5 mV/mW

حساسية المزدوجة الحرارية المتزامنة

< 9 %

جهد المزدوجة الحرارية

القيمة النموذجية 5.5 مللي فولت/كلفن

خرج السخان

القيمة النموذجية 3-10 مللي واط (غاز)، الحد الأقصى للتسامح: 20 مللي واط

أداء قياس التدفق

الوسط

غازات غير قابلة للتآكل (5-95% رطوبة نسبية، بدون تكاثف)

نطاق القياس

0.0 to 3.5 m/s

الحساسية

0.002 m/s

دقة القياس

0.2 % F.S.

زمن الاستجابة t63

<5 ms

حساسية درجة الحرارة (غير كاملة)

< 0.18 %/K F.S.

حساسية الموضع

< 0.1 % F.S

حساسية درجة الحرارة

< 4.0 % F.S