Швейцарский IST кремниевый датчик потока Термический массовый датчик потока - SFS01

Технические параметры датчика

Размеры (Д x Ш x В в мм)

6.00 (±0.05) x 2.00 (± 0.02) x 0.525 (±0.01)

Диапазон рабочих температур

0 °C to +80 °C

Диапазон температур хранения

-20 °C to +80 °C

Нагрузка по давлению

Максимум 1 бар (односторонняя мембрана, срок службы 10 лет)

Электрические параметры датчика

Способ подключения

Контактные площадки для бондинга (рекомендуемый процесс: алюминиевая проволока, клиновой бондинг

Сопротивление нагревателя

1‘000 Ω ± 20 %

Сопротивление термопары

< 40 kΩ

Чувствительность термопары

> 5 mV/mW

Синхронная чувствительность термопары

< 9 %

Напряжение термопары

Типичное значение 5.5 мВ/К

Выход нагревателя

Типичное значение 3-10 мВт (газ), максимальный допуск: 20 мВт

Характеристики измерения потока

Среда

Некоррозионные газы (5-95 % отн. влажности, без конденсата)

Диапазон измерения

0.0 to 3.5 m/s

Чувствительность

0.002 m/s

Точность измерения

0.2 % F.S.

Время отклика t63

<5 ms

Температурная чувствительность (неполная)

< 0.18 %/K F.S.

Чувствительность к положению

< 0.1 % F.S

Температурная чувствительность

< 4.0 % F.S