スイスIST シリコン流量センサー 熱式質量流量センサー - SFS01

センサー技術パラメータ

寸法（L x B x H in mm）

6.00 (±0.05) x 2.00 (± 0.02) x 0.525 (±0.01)

動作温度範囲

0 °C to +80 °C

保存温度範囲

-20 °C to +80 °C

圧力負荷

最大1 bar（片面膜で10年間持続）

センサー電気パラメータ

接続方法

ボンディングパッド（推奨ボンディングプロセス：アルミワイヤーウェッジボンディング）

ヒーター抵抗

1‘000 Ω ± 20 %

熱電対抵抗

< 40 kΩ

熱電対感度

> 5 mV/mW

熱電対同期感度

< 9 %

熱電対電圧

標準値 5.5 mV/K

ヒーター出力

標準値3-10 mW（ガス）、最大公差：20 mW

流量測定性能

媒体

非腐食性ガス（5-95 % rH、結露なし）

測定範囲

0.0 to 3.5 m/s

感度

0.002 m/s

測定精度

0.2 % F.S.

応答時間 t63

<5 ms

温度感度（不完全）

< 0.18 %/K F.S.

位置感度

< 0.1 % F.S

温度感度

< 4.0 % F.S