스위스 IST 실리콘 유량 센서 열식 질량 유량 센서 - SFS01

센서 기술 매개변수

크기 (L x B x H in mm)

6.00 (±0.05) x 2.00 (± 0.02) x 0.525 (±0.01)

작동 온도 범위

0 °C to +80 °C

보관 온도 범위

-20 °C to +80 °C

압력 부하

최대 1 bar (단일 막, 10년 지속)

센서 전기 매개변수

연결 방식

본딩 패드 (권장 본딩 공정: 알루미늄 와이어 웨지 본딩)

히터 저항

1‘000 Ω ± 20 %

열전퇴 저항

< 40 kΩ

열전퇴 감도

> 5 mV/mW

열전퇴 동기 감도

< 9 %

열전퇴 전압

일반값 5.5 mV/K

히터 출력

일반값 3-10 mW (가스), 최대 허용 오차: 20 mW

유량 측정 성능

매체

비부식성 가스 (5-95 % rH, 무결로)

측정 범위

0.0 to 3.5 m/s

감도

0.002 m/s

측정 정확도

0.2 % F.S.

응답 시간 t63

<5 ms

온도 감도 (불완전)

< 0.18 %/K F.S.

위치 감도

< 0.1 % F.S

온도 감도

< 4.0 % F.S