Jauge de vide miniature Pirani Neroxis Suisse - capteur à conductivité thermique - MTCS2305

Micro vacuomètre Pirani suisse Neroxis, capteur à conductivité thermiqueDescription du MTCS2305 :

Le manomètre MTCS2305 mesure la conductivité thermique selon le principe de Pirani ; c'est un dispositif MEMS dédié, dans un petit boîtier TO39. Ce capteur utilise la technologie MEMS à résistance nickel-platine, intégrant une grande membrane en nitrure de silicium micro-usinée à faible contrainte, deux résistances à couche mince pour le chauffage, et deux résistances de référence pour la compensation sur le silicium massif, dans un boîtier miniature. Cette structure MEMS combine des circuits intégrés CMOS standard simples pour l'analyse de l'alimentation et de la température, adaptée aux solutions de détection sous vide OEM critiques en termes de taille, nécessitant une ultra-faible consommation d'énergie, un excellent rapport signal/bruit et une résistance aux gaz corrosifs.

Micro vacuomètre Pirani suisse Neroxis, capteur à conductivité thermiqueMTCS2305 Caractéristiques :
Le capteur propose 3 options de boîtier au choix :
Puce de détection uniquement, réalisant un micro-fil chaud dans l'air (MTCS2305-0)
Capteur à puce avec capuchon en silicium (MTCS2305-20), créant un espace entre les parties chaude et froide de 20 um (ou 10 um). Ce petit espace améliore la sensibilité du principe de Pirani
dans la plage de pression de 100 à 1000 mbar.


Micro vacuomètre Pirani suisse Neroxis, capteur à conductivité thermiqueMTCS2305 Caractéristiques :
Plage de mesure étendue de 10^-5 à 1000 mbar
Capteur en silicium micro-usiné MEMS, dont la géométrie est parfaitement adaptée à la résistance du capteur
Volume de gaz du capteur ultra-petit < 0,1 cm3
La distance du micro-fil Pirani à la paroi est ajustée par micro-usinage du silicium, avec une limite inférieure de 10 µm (MTCS2305-10) ou 20 µm (MTCS2305-20), offrant une excellente répétabilité du capteur
Capteur MEMS en silicium avec une grande résistance intégrée (par exemple 250 Ohms) et une petite masse thermique, offrant une consommation d'énergie ultra-faible (< 5 mA @ 5V)
Temps de réponse ultra-rapide < 30 ms, bande passante électronique >100 Hz
En raison de la similitude entre la résistance de chauffage et la résistance de référence, la compensation de température est facilement réalisée dans le processus de couche mince platine-nickel de la microstructure
Insensible à la position d'installation
Petite taille, forte résistance aux chocs (>1000 G)
Contacts en or, résistants aux gaz corrosifs tels que l'hydrogène


Micro vacuomètre Pirani suisse Neroxis, capteur à conductivité thermiqueMTCS2305 Applications :
Détection de fuites, propulsion, fabrication de semi-conducteurs (par exemple, chambres de pulvérisation), lyophilisateurs, machines d'emballage sous vide de viande, revêtement sous vide et sas de chargement. Généralement, dans des environnements difficiles avec des contraintes de puissance et de taille, mesure de pression selon le principe de Pirani, par exemple dans des instruments portables d'analyse ou des systèmes de pompes mécaniques de petite taille


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