Fournisseur de pièces industrielles - Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètre - série MTCS2300

Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètre - série MTCS2300

Insensible à la position d'installation
Petite taille, résistance élevée aux chocs (>1000 G)
Résistant aux gaz corrosifs, comme l'hydrogène, avec contacts en or

Modèle de produit : Série MTCS2300

Présentation du produit

Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètreDescription du MTCS2300 :

Le manomètre MTCS2300 est un dispositif MEMS spécialisé qui mesure la conductivité thermique selon le principe de Pirani, dans un petit boîtier TO8 ou TO39.

Ce capteur utilise la technologie MEMS à résistance en nickel-platine, intégrant une grande membrane en nitrure de silicium micro-usinée à faible contrainte, deux résistances à couche mince pour le chauffage et deux résistances de référence pour la compensation sur le silicium massif, dans un boîtier miniature.

Cette structure MEMS, combinée à un circuit intégré CMOS standard simple pour l'alimentation et l'analyse de température, est une solution de détection sous vide OEM adaptée aux applications critiques en termes de taille, nécessitant une très faible consommation d'énergie, un excellent rapport signal/bruit et une résistance aux gaz corrosifs.

Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètreMTCS2300 Caractéristiques :

Plage de mesure étendue de 10-4 à 1000 mbar

Capteur en silicium micro-usiné MEMS avec géométrie et résistances parfaitement adaptées

Volume de gaz du capteur ultra-petit < 0,1 cm3

La distance micro-fil Pirani au mur est ajustée par micro-usinage du silicium, pouvant être réduite à 10 µm ou 20 µm, offrant une excellente répétabilité du capteur

Capteur en silicium MEMS avec une grande résistance intégrée de 250 Ohms et un petit élément chauffant, offrant une consommation d'énergie ultra-faible (< 6 mW)

Temps de réponse ultra-rapide < 50 ms

Compensation de température facilement réalisée dans le processus de couche mince platine-nickel micro-structuré grâce à des résistances de chauffage et de référence similaires

Insensible à la position d'installation

Petite taille, résistance élevée aux chocs (>1000 G)

Résistant aux gaz corrosifs, comme l'hydrogène, avec contacts en or

Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètreApplications du MTCS2300 :

Détection de fuites

Propulsion

Fabrication de semi-conducteurs (par exemple, chambres de pulvérisation)

Lyophilisateurs

Machines d'emballage sous vide de viande

Revêtement sous vide

Sas de chargement

Généralement, mesure de pression dans des environnements difficiles avec des contraintes de puissance et de taille, comme les instruments analytiques portables et les petits systèmes de pompes mécaniques, basée sur le principe de Pirani.

Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètreParamètres du MTCS2300 :

Capteur de gaz à conductivité thermique suisse Neroxis, jauge de vide micro Pirani, manomètreSélection du MTCS2300 :

Informations de commande
MTCS230X	X = 1 : MTCS2301 = contacts Al	X = 2 : MTCS2302 = contacts Au
Modèle	Description
MTCS230X-0	Uniquement une puce de détection, sans capot en silicium, boîtier TO8
MTCS230X-10	Puce de détection avec capot à espace d'air de 10 µm, boîtier TO8
MTCS230X-20	Puce de détection avec capot à espace d'air de 20 µm, boîtier TO8