제품 소개
스위스 Neroxis 초소형 피라니 진공계 열전도식 센서MTCS2305 설명:
MTCS2305 압력계는 피라니 원리에 따라 열전도율 측정을 사용하는 전용 MEMS 장치로, 소형 TO39 패키지입니다. 이 센서는 니켈-백금 저항 MEMS 기술을 사용하여 대형 미세 기계 저응력 질화규소 막, 가열용 박막 저항 2개, 벌크 실리콘 위의 보상용 기준 저항 2개를 소형 패키지에 통합합니다. 이 MEMS 구조는 전원 및 온도 분석을 위한 간단한 CMOS 표준 집적 회로와 결합되어 초저 전력 소비, 뛰어난 신호 대 잡음비 및 부식성 가스 내성이 요구되는 크기 중요 진공 OEM 센싱 솔루션에 적합합니다.
스위스 Neroxis 초소형 피라니 진공계 열전도식 센서MTCS2305 특성:
센서에는 3가지 선택적 패키지 옵션이 있습니다:
센서 칩만으로 공기 중 초소형 핫와이어 구현(MTCS2305-0)
실리콘 캡이 있는 센서 칩(MTCS2305-20)은 20um(또는 10um)의 냉온 부분 사이에 간격을 만듭니다. 이 작은 간격은 피라니 원
100 – 1000 mbar 압력에서의 감도를 관리합니다.
스위스 Neroxis 초소형 피라니 진공계 열전도식 센서MTCS2305 특징:
확장 측정 범위 10-5 ~ 1000 mbar
MEMS 미세 기계 실리콘 센서, 센서의 기하학적 구조와 센서 저항이 완벽하게 일치합니다
< 0.1 cm3 의 초소형 센서 가스 부피
피라니 마이크로와이어에서 벽까지의 거리는 실리콘 미세 기계로 조절되며, 하한은 10 µm(MTCS2305-10) 또는 20 µm(MTCS2305-20)로 우수한 센서 반복성을 가집니다
큰 집적 저항(예: 250 Ohms)과 작은 가열 질량을 가진 MEMS 실리콘 센서를 채택하여 초저 작동 전력 소비(< 5 mA @ 5V)를 실현합니다
초고속 응답 시간 < 30 ms, 전자 대역폭 >100 Hz
유사한 가열 저항과 기준 저항 덕분에 미세 구조의 백금-니켈 박막 공정에서 온도 보상이 쉽게 구현됩니다
설치 위치에 영향을 받지 않습니다
작은 크기, 강한 충격 저항 (>1000 G)
금 접점을 채택하여 수소와 같은 부식성 가스에 내성이 있습니다
스위스 Neroxis 초소형 피라니 진공계 열전도식 센서MTCS2305 응용:
누출 감지, 추진, 반도체 제조(예: 스퍼터링 챔버), 동결 건조기, 진공 육류 포장기, 진공 코팅 및 로드록. 일반적으로 전력과 크기가 제한된 열악한 환경에서 피라니 원리에 따라 압력 측정을 수행합니다. 예: 휴대용 분석 기기 또는 소형 기계 펌프 시스템
스위스 Neroxis 초소형 피라니 진공계 열전도식 센서MTCS2305 선택:
