Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse - série MTCS2200
Capteur micro-usiné en silicium, de très petite taille (3,5 x 3,5 mm2), adapté aux volumes de gaz miniatures (20 mm3)
Constante de temps courte (constante de temps de la membrane < 5 ms)
Faible puissance, haute sensibilité et puissance de chauffage minimale (< 6 mW)
Insensible au débit
Présentation du produit
Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Description :
Les capteurs de gaz à conductivité thermique sont fabriqués sur des puces en silicium par dépôt de couches minces et micro-usinage du silicium. Cet appareil peut mesurer la concentration de gaz dans des mélanges binaires ou ternaires.
Le capteur est fixé sur un support en silicium qui permet également l'échange de gaz sous la membrane. Au-dessus ou en dessous de la membrane se trouve une microstructure composée d'une cavité gravée de manière anisotrope dans le silicium. La partie creuse entre la membrane et les parties plus froides est la section de mesure de la conductivité thermique du gaz. Le gaz mesuré diffuse à travers les ouvertures latérales dans la cavité au-dessus de la membrane chauffée, empêchant ainsi les perturbations du flux. Le transfert de chaleur du capteur dépend de la conductivité thermique du gaz autour de la membrane. Ces capteurs utilisent généralement un circuit à courant constant pour mesurer le gaz. La concentration de gaz est directement liée à la différence de température [δT = Tm – Tamb], qui est mesurée par la variation de la puissance électrique.
Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Caractéristiques :
Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Applications :
Détection du point de cuisson dans les fours à micro-ondes
Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Paramètres :
Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Sélection :
| Informations de commande |
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| Modèle : MTCS 220X – Y - Z |
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| X |
Y |
Z |
| 1 : Mélange binaire 2:CH4 3:CO2 4:H2, He 5 : CFC, fréon 6:Ar, Ne, N2, O2 |
1:TO5-4 2:TO8 3:TO5-(6+2) |
1 : Métallisation en aluminium et câblage de connexion 2 : Métallisation en or et câblage de connexion |