Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200
Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse

Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse - série MTCS2200

Capteur micro-usiné en silicium, de très petite taille (3,5 x 3,5 mm2), adapté aux volumes de gaz miniatures (20 mm3)
Constante de temps courte (constante de temps de la membrane < 5 ms)
Faible puissance, haute sensibilité et puissance de chauffage minimale (< 6 mW)
Insensible au débit

Modèle de produit : Série MTCS2200

Présentation du produit

Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Description :

Les capteurs de gaz à conductivité thermique sont fabriqués sur des puces en silicium par dépôt de couches minces et micro-usinage du silicium. Cet appareil peut mesurer la concentration de gaz dans des mélanges binaires ou ternaires.

Ce capteur se compose d'un chauffage intégré situé sur une membrane isolée thermiquement. Deux résistances en couche mince sont utilisées pour chauffer et mesurer la température de la membrane [Tm]. Deux résistances de référence sont intégrées sur la puce en silicium à côté de la membrane pour compenser la température ambianteVariation de température. Ces quatre résistances sont passivées pour éviter l'influence des gaz et sont connectées électriquement à la base TO8 ou TO5 par câblage en or.

Le capteur est fixé sur un support en silicium qui permet également l'échange de gaz sous la membrane. Au-dessus ou en dessous de la membrane se trouve une microstructure composée d'une cavité gravée de manière anisotrope dans le silicium. La partie creuse entre la membrane et les parties plus froides est la section de mesure de la conductivité thermique du gaz. Le gaz mesuré diffuse à travers les ouvertures latérales dans la cavité au-dessus de la membrane chauffée, empêchant ainsi les perturbations du flux. Le transfert de chaleur du capteur dépend de la conductivité thermique du gaz autour de la membrane. Ces capteurs utilisent généralement un circuit à courant constant pour mesurer le gaz. La concentration de gaz est directement liée à la différence de température [δT = Tm – Tamb], qui est mesurée par la variation de la puissance électrique.


Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Caractéristiques :

Capteur micro-usiné en silicium, de très petite taille (3,5 x 3,5 mm2), adapté aux volumes de gaz miniatures (20 mm3)
Constante de temps courte (constante de temps de la membrane < 5 ms)
Faible puissance, haute sensibilité et puissance de chauffage minimale (< 6 mW)
Insensible au débit
Résistances de détection et de compensation de température intégrées sur la membrane
Performances de sensibilité fiables et constantes
Faible variation des spécifications du capteur grâce au processus de fabrication en série
Signal de sortie linéaire en fonction de la concentration du gaz cible
Fonctionnement stable à long terme
Haute résistance mécanique
Aucune maintenance sur site requise


Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Applications :

Industriel :
Détermination de la concentration de gaz en mesurant la conductivité thermique de mélanges binaires (Ar, H2 dans N2) ou quasi-binaires (H2, He ou CO2 dans l'air)
Contrôle de combustion
Contrôle du moteur à gaz pour surveiller la concentration de CH4 dans le gaz naturel
Détection des fréons (
R-11;
Détection de fuites de gaz réfrigérants tels que R-12, R-21, R-22), CFC ou CF3CH2F fluoroéthane (R-134 ou R-404) dans les systèmes de refroidissement
Mesure de l'hydrogène dans l'air (0-5% ou concentrations plus élevées), de l'hélium (0-5000 ppm) ou du xénon
Contrôle de processus industriels de sécurité, horticulture, stockage de denrées alimentaires, contrôle de processus de fermentation
Dispositifs à vide miniatures, tels que les jauges de pression de type Pirani miniatures
Capteur d'humidité absolue miniature à air basé sur la conductivité thermique
Industrie des boissons (concentration de CO2)


Domestique :
Surveillance de sécurité du CO2 pour la sécurité, les alarmes incendie ou la qualité de l'air intérieur (0-4%)

Détection du point de cuisson dans les fours à micro-ondes


Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Paramètres :


Capteur de gaz à conductivité thermique Neroxis Suisse série MTCS2200 Sélection :

Informations de commande

Modèle : MTCS 220X – Y - Z

X

Y

Z

1 : Mélange binaire

2:CH4

3:CO2

4:H2, He

5 : CFC, fréon

6:Ar, Ne, N2, O2

1:TO5-4

2:TO8

3:TO5-(6+2)

1 : Métallisation en aluminium et câblage de connexion

2 : Métallisation en or et câblage de connexion