产品介绍
Швейцарский микровакуумметр Neroxis с датчиком теплопроводностиMTCS2305描述：
MTCS2305压力计根据皮拉尼原理采用热导率测量，是专用MEMS装置，为小型TO39封装。该传感器采用镍铂电阻MEMS技术，将一个大型微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。此MEMS结构结合了用于电源和温度分析的简单CMOS标准集成电路，适用于要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蚀气体的尺寸关键真空OEM传感解决方案。
Швейцарский микровакуумметр Neroxis с датчиком теплопроводностиMTCS2305 特性：
传感器有3项可选的封装选项：
仅传感芯片，实现空气中微型热线（MTCS2305-0）。
传感芯片带硅盖（MTCS2305-20），在冷热部分之间形成20微米（或10微米）的间隙。这种小间隙提高了皮拉尼原理在100–1000毫巴压力下的灵敏度。
原理在100–1000毫巴压力下的灵敏度。
Швейцарский микровакуумметр Neroxis с датчиком теплопроводностиMTCS2305 Особенности:
扩展测量范围10⁻⁵至1000毫巴。
MEMS微机械硅传感器，传感器的几何结构与传感器电阻完美匹配。
<0.1立方厘米的超小传感器气体体积。
皮拉尼微导线到墙的距离由硅微机械调节，下限为10微米（MTCS2305-10）或20微米（MTCS2305-20），具有优异的传感器重复性。
采用具有大集成电阻（如250欧姆）和小加热质量的MEMS硅传感器，具有超低运行功耗（<5毫安@5伏）。
超快响应时间<30毫秒，电子带宽>100赫兹。
由于相似的加热电阻和参考电阻，在微型结构的铂镍薄膜工艺中轻松实现了温度补偿。
不受安装位置影响。
尺寸小，抗冲击能力强（>1000G）。
采用金触点，耐腐蚀性气体，如氢气。
Швейцарский микровакуумметр Neroxis с датчиком теплопроводностиMTCS2305 应用：
泄露检测、推进、半导体制造（例如，溅射室）、冷冻干燥器、真空肉类包装机、真空镀膜和负载锁。通常，在功率和尺寸受限的恶劣环境下，按照皮拉尼原理进行压力测量，例如分析便携式仪器或小型机械泵系统。
Швейцарский микровакуумметр Neroxis с датчиком теплопроводностиMTCS2305 选型：
