스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 - MTCS2200 시리즈

스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 MTCS2200 시리즈 설명:

열전도식 가스 센서는 박막 증착 및 실리콘 미세 가공 기술을 사용하여 실리콘 웨이퍼 위에 제작된다. 이 장치는 이원 또는 삼원 가스 혼합물의 가스 농도를 측정할 수 있다.

센서는 실리콘 지지대에 부착되어 있으며, 이 지지대는 막 아래와의 가스 교환도 가능하게 합니다. 막 위 또는 아래는 실리콘에 이방성 에칭된 캐비티로 구성된 미세 구조입니다. 이로 인해 막과 더 차가운 부분 사이에 형성된 중공 부분이 가스 열전도 측정 부분입니다. 측정 가스는 측면 개구부를 통해 가열된 막 위의 공동으로 확산되어 기류 교란을 방지합니다. 센서의 열 전달은 막 주변 가스의 열전도율에 따라 달라집니다. 이러한 센서는 일반적으로 정전류 회로를 사용하여 가스를 측정합니다. 가스 농도는 온도 차이[δT=Tm– Tamb]와 직접적으로 관련되며, 이 차이는 전력 변화를 측정하여 측정됩니다.

스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 MTCS2200 시리즈 특징:

스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 MTCS2200 시리즈 응용:

전자레인지의 조리 지점 감지

스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 MTCS2200 시리즈 파라미터:

스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 MTCS2200 시리즈 선택:

주문 정보
모델: MTCS 220X – Y - Z
X	Y	Z
1: 이원 혼합물 2:CH4 3:CO2 4:H2, He 5: CFC, 프레온 6:Ar, Ne, N2, O2	1:TO5-4 2:TO8 3:TO5-(6+2)	1: 알루미늄 금속화 및 와이어 본딩 2: 금 금속화 및 와이어 본딩