Capteur de vide Pirani - F6000

Description du capteur de vide Pirani F6000

La série F6000 de capteurs de vide Pirani MEMS offre une solution révolutionnaire de mesure du vide. Ce capteur est de taille minuscule, tout en présentant les avantages d'une très faible consommation d'énergie, d'une longue durée de vie, d'une maintenance sur site réduite et d'un faible coût.

Selon le principe selon lequel la conductivité thermique du gaz est proportionnelle à la pression dans la plage de vide faible, la série F6000 mesure les variations subtiles de résistance de l'élément chauffant dues au transfert de chaleur vers le gaz environnant.
Cet élément chauffant (c'est-à-dire la résistance de mesure) est constitué d'une résistance à film mince de platine placée sur une membrane d'isolation thermique. La membrane est suspendue au-dessus d'une cavité micro-usinée de 25 µm de profondeur, dont la surface inférieure est parallèle à la membrane pour garantir une mesure précise du taux de transfert de chaleur. En raison du très petit volume de gaz mesuré (c'est-à-dire le petit volume de la cavité), le capteur Winsen offre une très faible consommation d'énergie et un temps de réponse rapide.
La série F6000 comprend également une résistance de référence ayant le même coefficient de température de résistance (TCR) que la résistance de mesure, disposée sur le substrat de la puce du capteur. Le circuit du capteur peut l'utiliser pour la compensation de la température ambiante.

Grâce à ses avantages de haute fiabilité, faible coût, facilité d'utilisation et très faible consommation d'énergie, la technologie Pirani miniaturisée utilisant le processus MEMS devient une norme industrielle. La série F6000 de capteurs de vide Pirani MEMS peut aider les clients à tirer pleinement parti de cette tendance pour améliorer leurs produits existants et développer de nouveaux produits.

Capteur de vide Pirani F6000Spécifications maximales absolues :
Température de fonctionnement : -40 °C à 125 °C (des modèles à température plus élevée sont disponibles)
Humidité : 0 à 100 % HR, sans condensation
Résistance aux chocs : 1000 g
Surpression : 27,5 bars

Capteur de vide Pirani F6000Caractéristiques du capteur

Très faible consommation d'énergie < 5 mW
Temps de réponse rapide < 5 ms
Résistance aux chocs jusqu'à 1000 g
Volume de gaz mesurable jusqu'à 0,1 cm³
Faible bruit
Haute résolution
Détection de température sur la même puce
Stabilité à long terme
Nettoyable par immersion dans un solvant pour prolonger la durée de vie

Capteur de vide Pirani F6000Applications principales

Instruments d'analyse
Détection de fuites dans les systèmes fermés utilisant un vide primaire
Équipements semi-conducteurs
Machines d'emballage sous vide
Vacuomètres numériques portables
Petits systèmes mécaniques (tels que les pompes) pour atteindre un vide spécifié
Interrupteurs de vide à faible coût pour vérifier un vide inférieur à 1 Torr