微流量センサー - F1031

一、微流量センサーF1031の説明

F1031微流量センサーは熱力学原理を利用して流路内のガス媒体の流量を検出し、優れた精度と再現性を備えています。F1031微流量センサーには温度センサーが内蔵されており、各製品は専用の温度補償校正が行われています。また、線形アナログ電圧出力を備え、使いやすくなっています。
チップは2つの熱電対スタックと1つの加熱抵抗で構成されています。熱電対スタックは加熱抵抗の上流と下流に対称に配置されています。加熱抵抗と熱電対スタックの熱接点は断熱ベース上にあります。加熱抵抗が熱電対スタックの熱接点を加熱します。熱電対スタックの熱接点と冷接点の間の温度勾配により出力電圧が発生します。これは本質的なゼーベック効果です。加熱抵抗の両側の等温線は、流体が静止している場合、加熱抵抗の中央部に垂直な線に対して対称に分布し、加熱抵抗の両側の対称位置の温度は同じです。流体が左から右へ流れると、等温線は右側に傾きます。加熱抵抗の両側の対称位置の温度はもはや同じではありません。温度差は加熱抵抗の両側に配置された熱電対スタックによって測定できます。流体の熱伝達は流体の質量と流体の熱容量にのみ依存するため、センサーは流体の質量流量を直接測定できます。

二、微流量センサーF1031のセンサー特長
新世代MEMSセンサーチップ技術
ドリフトなし、ヒステリシスなし
高精度、高速応答、優れた再現性
低消費電力（パルス励起電流使用）
極小流量を正確に測定可能
完全校正・温度補償済み
線形または平方根特性出力；アナログまたはデジタル出力

三、微流量センサーF1031の主な用途
医療機器：呼吸計、肺活量計、麻酔制御装置、酸素制御など
空調・換気：VAVシステム、フィルター監視、ファン換気制御など
産業プロセス制御：バーナー制御
空気・環境保護
携帯型機器

四、微流量センサーF1031の技術仕様

製品型番	F1031微流量センサー
レンジ①	20、35、50、100、150、200SLM②
	最小	標準	最大	単位
フルスケール出力	4.90	5.00	5.10	V
ゼロ流量出力	0.96	1.00	1.04	V
出力インピーダンス	-	200	-	Ω
動作電圧	7.0	10.0	14.0	V
動作電流	15	25	30	mA
精度	-	±1.5	±2.5	%F.S
再現性	-	±0.3	±0.5	%F.S
年間ドリフト③	-	±0.1	±0.5	%F.S
動作圧力④	-	-	100	kPa
応答時間	5	10	15	ms
動作温度⑤	-25	-	65	℃
保存温度	-40	-	90	℃

注：製品仕様は予告なく変更されることがあります。