스위스 Neroxis 열전도 가스 센서 - MTCS2601

1. 열전도식 가스 센서 MTCS2601설명:

MTCS2601 센서는 MEMS 기술 기반의 4개 Ni-Pt 저항으로 구성된 미세기계 열전도율 센서입니다. 이 센서는 소형 SMD 패키지에 장착됩니다. 동시에 저전력 CMOS 표준 집적 회로와 결합되어 OEM 업체의 누출 감지 또는 피라니 원리 기반 진공도 감지에 매우 적합하며, 초저전력, 장수명, 유지보수 불필요한 제품이 필요합니다. 가혹한 환경에서의 초기 압력 제어, 전력 및 크기 제한, 또는 가스 누출이나 수분, 또는 침입이 필요한 경우에 적합합니다.

2. 열전도식 가스 센서MTCS2601특징:

MEMS 센서는 화학 반응이 없는 물리적 피라니 원리를 따르며, 압력에 대한 가스 열전도율 변화를 기반으로 합니다

측정 범위: 0.0001~1000mbar, 뛰어난 재현성
실리콘 웨이퍼 위에 가열 저항이 있으며 우수한 온도 보상 기능이 있습니다
초소형 센서 가스 부피 예: <0.1cm3
안정적이고 긴 MTBF(>30000시간), 물리적 임피던스 감지 원리 기반
초저전력 소비(<6mW), 소형 가열 소자가 있는 MEMS 센서 사용으로 인해
초고속 응답 시간 <50mS
설치 위치에 민감하지 않음
크로스토크 가스 환경에서 사용 가능

간단한 정온도 회로와 호환

3. 열전도식 가스 센서MTCS2601응용:

1. 가스 농도 측정 센서로서의 응용:
실내외 공기 중 H2, CH4, CO2, LPG 가스 모니터링
•식품 산업 공정 제어(예: 탄산음료의 이산화탄소 측정)
•연료전지용 수소 센서
•바이오가스 플랜트에서 CH4 측정
•냉매 가스 감지(CFC, PFC, HFCs 등)
•전자 제품(예: 잠수 장비의 헬륨 제어)
•호흡 시스템 모니터링(의료)
•불활성 가스 하에서 작동하는 밀폐 시스템의 누출 제어(예: 스트레인 게이지, 하드디스크 품질 관리 등)

2. 진공도/압력 측정 센서 응용:
•고정식 및 휴대용 분석 기기
•밀폐 시스템(예: 운동 에너지 저장 시스템)의 누출 감지 및 주요 진공 제어
•반도체 산업에서 사용되는 진공 장비
•식품 산업(진공 포장기)
일반적으로 피라니 마이크로 센서는 점유 면적이 작아 제어가 필요한 모든 주요 진공 시스템(예: 밀봉 제어, 잠재적 부식 또는 우발적 개방)에 통합할 수 있습니다

사、열전도식 가스 센서MTCS2601권장 작동 조건

MGSM2601은 4개의 개별 연결 저항이 있습니다: Rm1과 Rm2는 박막 위에 위치하며 가열/측정용이고, Rt1과 Rt2는 센서의 '차가운 부분'에 위치하며 온도 측정 및 보상용입니다. 저진공 압력 측정의 경우 일정한
과온 작동 모드가 권장됩니다. 일정 범위 내에서 압력 전도율 변화가 중요하며, 응용에 따라 빠르게 대응할 수 있어 센서 손상을 방지하는 탁월한 방법입니다.

보관 조건
온도: -40~100°C
습도: 0~100%RH, 비응축

기계적 압력 테스트
중력 가속도: 1000g, 0.2mS, 반사인파
진동: 10g RMS, 사인파: 20~2000Hz