Fornecedor de componentes industriais - Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetro - série MTCS2300

Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetro - série MTCS2300

Não afetado pela posição de instalação
Tamanho pequeno, alta resistência a impactos (>1000 G)
Resistente a gases corrosivos, como hidrogênio, com contatos de ouro

Modelo do produto: Série MTCS2300

Introdução do produto

Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetroDescrição do MTCS2300:

O manômetro MTCS2300 é um dispositivo MEMS especializado que mede a condutividade térmica com base no princípio de Pirani, em embalagem compacta TO8 ou TO39.

Este sensor utiliza tecnologia MEMS de resistência de níquel-platina, integrando uma grande membrana de nitreto de silício micromecânica de baixa tensão, dois resistores de filme para aquecimento e dois resistores de referência para compensação no silício, em uma embalagem miniaturizada.

Esta estrutura MEMS combina circuitos integrados CMOS padrão simples para alimentação e análise de temperatura, sendo adequada para soluções de sensoriamento a vácuo OEM críticas em tamanho que exigem consumo de energia ultrabaixo, excelente relação sinal-ruído e resistência a gases corrosivos.

Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetroMTCS2300 Características:

Faixa de medição estendida de 10-4 a 1000 mbar

Sensor de silício micromecânico MEMS com geometria e resistências perfeitamente combinadas

Volume de gás do sensor ultra pequeno < 0,1 cm3

A distância do microfio de Pirani à parede é ajustada por micromecânica de silício, podendo ser reduzida para 10 µm ou 20 µm, com excelente repetibilidade do sensor

Sensor de silício MEMS com grande resistor integrado de 250 Ohms e pequeno elemento de aquecimento, resultando em consumo de energia ultrabaixo (< 6 mW)

Tempo de resposta ultra rápido < 50 ms

Devido aos resistores de aquecimento e referência semelhantes, a compensação de temperatura é facilmente alcançada no processo de filme fino de platina-níquel microestruturado

Não afetado pela posição de instalação

Tamanho pequeno, alta resistência a impactos (>1000 G)

Resistente a gases corrosivos, como hidrogênio, com contatos de ouro

Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetroAplicações do MTCS2300:

Detecção de vazamentos

Dispositivos de propulsão

Fabricação de semicondutores (por exemplo, câmaras de sputtering)

Liofilizadores

Máquinas de embalagem de carne a vácuo

Revestimento a vácuo

Câmaras de carga

Geralmente, medição de pressão em ambientes hostis com restrições de energia e tamanho, como analisadores portáteis e sistemas de bombas mecânicas pequenas, com base no princípio de Pirani

Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetroParâmetros do MTCS2300:

Sensor de gás condutor térmico suíço Neroxis, vacuômetro miniaturizado de Pirani, manômetroSeleção do MTCS2300:

Informações de pedido
MTCS230X	X = 1: MTCS2301 = contatos de Al	X = 2: MTCS2302 = contatos de Au
Modelo	Descrição
MTCS230X-0	Apenas um chip sensor, sem tampa de silício, embalagem TO8
MTCS230X-10	Chip sensor com tampa de folga de 10 µm, embalagem TO8
MTCS230X-20	Chip sensor com tampa de folga de 20 µm, embalagem TO8