مستشعر تدفق الكتلة MEMS من Siargo الأمريكي - FS5001E
حساسية عالية للمستشعر مع تدفق بدء صغير جدًا
تركيب سطحي، تصميم مدمج
مخرجات إشارة متعددة
استقرار عالي لنقطة الصفر
استقرار عالي ودقة عالية وتكرارية ممتازة على النطاق الكامل
مقدمة المنتج
مستشعر تدفق الكتلة MEMS من Siargo الأمريكيوصف FS5001E:
سلسلة FS5001E من مستشعرات تدفق الكتلة الغازية مصممة خصيصًا لقياس تدفق الغازات الصغيرة والتحكم في العمليات. تستخدم هذه السلسلة من المستشعرات شريحة مستشعر تدفق MEMS المطورة ذاتيًا، ومناسبة للغازات النظيفة والجافة المختلفة. يتم تركيب المستشعر بطريقة التثبيت السطحي، مما يجعل أبعاد التركيب أكثر إحكامًا ويسهل دمج مستشعرات متعددة في مساحات صغيرة.
مستشعر تدفق الكتلة MEMS من Siargo الأمريكيخصائص FS5001E:
حساسية عالية للمستشعر مع تدفق بدء صغير جدًا
تركيب سطحي، تصميم مدمج
مخرجات إشارة متعددة
استقرار عالي لنقطة الصفر
استقرار عالي ودقة عالية وتكرارية ممتازة على النطاق الكامل
مستشعر تدفق الكتلة MEMS من Siargo الأمريكيمعلمات FS5001E:
| المعايير الفنية | |||
| المعلمة القيمة | الوحدة | ||
| نطاق التدفق 200,500,1000,2000,4000,6000 | sccm | ||
| نسبة المدى 100:1 الدقة ±(2.0+0.5FS) التكرارية 0.5+0.15FS |
% | ||
| انحراف خرج نقطة الصفر ±30 | |||
| انحراف الخرج ±0.08 %/℃ | |||
| زمن الاستجابة 10 (الافتراضي، قابل للضبط 5,10,20,50,100,200,500,1000) مللي ثانية | |||
| جهد التشغيل | 8~24VDC,50mA | ||
| طريقة الإخراج | خطي، I²C، جهد تناظري 0.5~4.5 فولت تيار مستمر | ||
| فقدان الضغط الأقصى للتدفق | <900 <3500 | Pa | |
| ضغط التشغيل | -0.08～+0.5 | MPa | |
| درجة حرارة التشغيل | -10～+55 | ℃ | |
| درجة حرارة التخزين | -20～+65 | ℃ | |
| رطوبة التشغيل | <95% رطوبة نسبية (بدون تجمد أو تكاثف) | ||
| طريقة المعايرة | الهواء (20 درجة مئوية، 101.325 كيلوباسكال) | ||
| الوزن | 15 | g | |
| 1. لضمان دقة قياس المستشعر، يجب تسخينه لمدة دقيقة قبل الاستخدام؛ 2. تم قياس المعلمات أعلاه عند 20 درجة مئوية و101.325 كيلوباسكال. |
|||
