Capteur de débit massique MEMS Siargo États-Unis - FS5001E

Capteur de débit massique MEMS Siargo États-UnisDescription du FS5001E :

La série FS5001E de capteurs de débit massique de gaz est spécialement conçue pour la mesure et le contrôle de processus de divers débits de gaz faibles. Cette série de capteurs utilise la puce de capteur de débit MEMS développée indépendamment par notre société, adaptée à divers gaz propres et secs. Le capteur est installé en surface, ce qui rend la taille d'installation plus compacte et permet une intégration facile de plusieurs capteurs dans un espace restreint.

Capteur de débit massique MEMS Siargo États-UnisCaractéristiques du FS5001E :

Sensibilité élevée du capteur, très faible débit de démarrage

Montage en surface, structure compacte

Sorties de signaux multiples

Stabilité élevée du point zéro

Haute stabilité sur toute la plage, haute précision et excellente répétabilité

Capteur de débit massique MEMS Siargo États-UnisParamètres du FS5001E :

Paramètres techniques
Paramètre Valeur		Unité
Plage de débit 200, 500, 1000, 2000, 4000, 6000		sccm
Rapport de portée 100:1 Précision ±(2.0+0.5FS) Répétabilité 0.5+0.15FS		%
Dérive du point zéro ±30
Dérive de sortie ±0.08 %/℃
Temps de réponse 10 (par défaut, réglable 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000) ms
Alimentation	8~24VDC,50mA
Mode de sortie	Linéaire, I²C, tension analogique 0,5~4,5 VDC
Perte de charge maximale	<900                          <3500	Pa
Pression de service	-0.08～+0.5	MPa
Température de service	-10～+55	℃
Température de stockage	-20～+65	℃
Humidité de service	<95% HR (sans gel, sans condensation)
Méthode d'étalonnage	Air (20℃, 101,325 kPa)
Poids	15	g
1. Pour garantir la précision de mesure du capteur, un préchauffage d'une minute est nécessaire avant utilisation ; 2. Les paramètres ci-dessus sont mesurés à 20℃, 101,325 kPa.