Sensor de fluxo mássico MEMS Siargo dos EUA - FS5001E

Sensor de fluxo mássico MEMS Siargo dos EUADescrição do FS5001E:

A série FS5001E de sensores de fluxo mássico de gás é projetada especificamente para medição e controle de processo de vários gases de baixo fluxo. Esta série de sensores usa o chip de sensor de fluxo de sistema microeletromecânico (MEMS) desenvolvido internamente, adequado para vários gases limpos e secos. O sensor usa instalação SMD, tornando o tamanho de instalação mais compacto, facilitando a integração de múltiplos sensores em espaços pequenos.

Sensor de fluxo mássico MEMS Siargo dos EUACaracterísticas do FS5001E:

Sensor de alta sensibilidade, com fluxo inicial muito baixo

Instalação SMD, estrutura compacta

Múltiplas saídas de sinal

Alta estabilidade de zero

Alta estabilidade em toda a faixa, alta precisão e excelente repetibilidade

Sensor de fluxo mássico MEMS Siargo dos EUAParâmetros do FS5001E:

Parâmetros técnicos
Parâmetro Valor		Unidade
Faixa de fluxo 200,500,1000,2000,4000,6000		sccm
Razão de faixa 100:1 Precisão ±(2.0+0.5FS) Repetibilidade 0.5+0.15FS		%
Deriva de saída de zero ±30
Deriva de saída ±0.08 %/℃
Tempo de resposta 10 (padrão, configurável 5,10,20,50,100,200,500,1000) ms
Fonte de alimentação	8~24VDC,50mA
Método de saída	Linear, I²C, tensão analógica 0.5~4.5VDC
Perda de pressão máxima de fluxo	<900                          <3500	Pa
Pressão de trabalho	-0.08～+0.5	MPa
Temperatura de trabalho	-10～+55	℃
Temperatura de armazenamento	-20～+65	℃
Umidade de trabalho	<95%RH (sem congelamento, sem condensação)
Método de calibração	Ar (20℃, 101.325kPa)
Peso	15	g
1. Para garantir a precisão da medição do sensor, pré-aqueça por um minuto antes do uso; 2. Os parâmetros acima são medidos a 20℃, 101.325kPa.