제품 소개
미국 Siargo MEMS 질량 유량 센서FS5001E 설명:
FS5001E 시리즈 가스 질량 유량 센서는 다양한 소유량 가스 측정 및 공정 제어를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시리즈의 모든 센서는 자체 개발한 MEMS 유량 센서 칩을 사용하여 제작되며, 다양한 청정 건조 가스에 적합합니다. 센서는 표면 실장형 설치 방식을 채택하여 설치 크기를 더욱 콤팩트하게 하여, 작은 공간에서 다중 센서 통합을 쉽게 실현할 수 있습니다.
미국 Siargo MEMS 질량 유량 센서FS5001E 특징:
센서 감도가 높고, 최소 작동 유량이 매우 작습니다.
표면 실장형 설치, 구조가 콤팩트합니다.
다양한 신호 출력
제로점 안정도가 높습니다.
전체 범위에서 높은 안정성, 높은 정확도 및 우수한 반복성
미국 Siargo MEMS 질량 유량 센서FS5001E 매개변수:
| 기술 매개변수 | |||
| 매개변수 값 | 단위 | ||
| 유량 범위 200,500,1000,2000,4000,6000 | sccm | ||
| 범위 비율 100:1 정확도 ±(2.0+0.5FS) 반복성 0.5+0.15FS |
% | ||
| 제로 출력 드리프트 ±30 | |||
| 출력 드리프트 ±0.08 %/℃ | |||
| 응답 시간 10(기본값, 5,10,20,50,100,200,500,1000 설정 가능)ms | |||
| 작동 전원 | 8~24VDC,50mA | ||
| 출력 방식 | 선형, I²C, 아날로그 전압 0.5~4.5VDC | ||
| 최대 유량 압력 손실 | <900 <3500 | Pa | |
| 작동 압력 | -0.08～+0.5 | MPa | |
| 작동 온도 | -10～+55 | ℃ | |
| 보관 온도 | -20～+65 | ℃ | |
| 작동 습도 | <95%RH(결빙, 결로 없음) | ||
| 교정 방식 | 공기(20℃, 101.325kPa) | ||
| 무게 | 15 | g | |
| 1. 센서의 측정 정확도를 보장하려면 사용 전 1분간 예열해야 합니다. 2. 위 매개변수는 20℃, 101.325kPa에서 측정되었습니다. |
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