Sensor de flujo másico MEMS Siargo de EE. UU. - FS5001E

Sensor de flujo másico MEMS Siargo de EE. UU.Descripción del FS5001E:

La serie FS5001E de sensores de flujo másico de gas está diseñada específicamente para la medición y el control de procesos de diversos gases de bajo caudal. Esta serie de sensores utiliza el chip de sensor de flujo MEMS (sistema microelectromecánico) desarrollado por nuestra empresa, adecuado para diversos gases limpios y secos. El sensor se instala en superficie, lo que hace que el tamaño de instalación sea más compacto y facilita la integración de múltiples sensores en espacios pequeños.

Sensor de flujo másico MEMS Siargo de EE. UU.Características del FS5001E:

El sensor tiene alta sensibilidad y un caudal de arranque muy pequeño

Montaje en superficie, estructura compacta

Múltiples salidas de señal

Alta estabilidad del punto cero

Alta estabilidad en todo el rango, alta precisión y excelente repetibilidad

Sensor de flujo másico MEMS Siargo de EE. UU.Parámetros del FS5001E:

Parámetros técnicos
Parámetro Valor		Unidad
Rango de flujo 200,500,1000,2000,4000,6000		sccm
Relación de rango 100:1 Precisión ±(2.0+0.5FS) Repetibilidad 0.5+0.15FS		%
Deriva de salida en cero ±30
Deriva de salida ±0.08 %/℃
Tiempo de respuesta 10 (por defecto, configurable 5,10,20,50,100,200,500,1000) ms
Alimentación	8~24VDC,50mA
Modo de salida	Lineal, I²C, voltaje analógico 0.5~4.5VDC
Pérdida de presión a flujo máximo	<900                          <3500	Pa
Presión de trabajo	-0.08～+0.5	MPa
Temperatura de trabajo	-10～+55	℃
Temperatura de almacenamiento	-20～+65	℃
Humedad de trabajo	<95%RH (sin congelación, sin condensación)
Método de calibración	Aire (20℃, 101.325kPa)
Peso	15	g
1. Para garantizar la precisión de medición del sensor, se requiere un precalentamiento de un minuto antes de su uso; 2. Los parámetros anteriores se miden a 20℃, 101.325kPa.