米国Siargo MEMS 質量流量センサー - FS5001E

米国Siargo MEMS 質量流量センサーFS5001E 説明：

FS5001Eシリーズガス質量流量センサーは、各種小流量ガスの測定とプロセス制御のために特別に設計されています。このシリーズのセンサーはすべて、当社が独自に開発したMEMS流量センサーチップを使用して作られており、各種の清潔で乾燥したガスに適しています。センサーは表面実装タイプで、取り付け寸法がよりコンパクトになり、狭いスペースでのマルチセンサー統合を容易に実現できます。

米国Siargo MEMS 質量流量センサーFS5001E 特徴：

センサー感度が高く、始動流量が非常に小さい

表面実装タイプで、コンパクトな構造

多種の信号出力

ゼロ点安定性が高い

全レンジで高安定性、高精度、優れた再現性

米国Siargo MEMS 質量流量センサーFS5001E パラメータ：

技術パラメータ
パラメータ 値		単位
流量範囲 200,500,1000,2000,4000,6000		sccm
レンジ比 100:1 精度 ±(2.0+0.5FS) 再現性 0.5+0.15FS		%
ゼロ点出力ドリフト ±30
出力ドリフト ±0.08 %/℃
応答時間 10(デフォルト、5,10,20,50,100,200,500,1000に設定可能)ms
動作電源	8~24VDC,50mA
出力方式	リニア、I²C、アナログ電圧0.5~4.5VDC
最大流量圧損	<900                          <3500	Pa
動作圧力	-0.08～+0.5	MPa
動作温度	-10～+55	℃
保存温度	-20～+65	℃
動作湿度	<95%RH(結氷・結露なし)
校正方法	空気(20℃、101.325kPa)
重量	15	g
1、センサーの測定精度を確保するため、使用前に1分間予熱する必要があります。 2、上記パラメータは20℃、101.325kPaで測定されたものです。