产品介绍
美国Siargo MEMS 质量流量传感器 FS5001E 描述：
FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
美国Siargo MEMS 质量流量传感器 FS5001E 特点：
传感器灵敏度高，有很小的始动流量
表贴式安装，结构紧凑
多种信号输出
零点稳定度高
全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
美国Siargo MEMS 质量流量传感器 FS5001E 参数：
| 技术参数 | |||
| 参 数 数值 | 单位 | ||
| 流量范围 200,500,1000,2000,4000,6000 | sccm | ||
| 量程比 100:1 精度 ±(2.0+0.5FS) 重复性 0.5+0.15FS |
% | ||
| 零点输出漂移 ±30 | |||
| 输出漂移 ±0.08 %/℃ | |||
| 响应时间 10(默认，可设置5,10,20,50,100,200,500,1000)ms | |||
| 工作电源 | 8~24VDC,50mA | ||
| 输出方式 | 线 性 ，I²C, 模拟电压0.5~4.5VDC | ||
| zui大流量压损 | <900 <3500 | Pa | |
| 工作压力 | -0.08～+0.5 | MPa | |
| 工作温度 | -10～+55 | ℃ | |
| 储存温度 | -20～+65 | ℃ | |
| 工作湿度 | <95%RH(无结冰、无凝露) | ||
| 校准方式 | 空气(20℃,101 .325kPa) | ||
| 重 量 | 15 | g | |
| 1,为了确保传感器的测量精度，使用前需要预热一分钟； 2,以上参数在为20℃,101.325kPa 下测得。 |
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