제품 소개
1. 기체 질량 유량 센서 FS4000 시리즈(FS4003 및 FS4008)제품 개요
FS4000 시리즈질량 유량 센서는 MEMS 유량 센서 기술과 지능형 전자 제어 기술을 채택하여 일반 기체 유량 모니터링을 위해 개발된 제품입니다. 이 센서는 기체 질량 유량을 직접 측정할 수 있으며, 압력 손실이 낮습니다. 정화 공기 또는 질소 유량 모니터링에 적합하며, 환경 샘플러(예: 크로마토그래피 분석 기기 등)에도 사용할 수 있습니다.
FS4003 기체 질량 유량 센서는 파이프 내경이 3mm이며, 저비용으로 측정 범위는 5SLPM까지입니다. 입자 카운터 및 각종 분석 기기에 적합합니다.
FS4008 기체 질량 유량 센서는 파이프 내경이 8mm이며, 측정 범위는 50SLPM까지입니다. 마취 장비, 청정 기체 감지에 사용할 수 있습니다. 예: 공기 샘플링 머신, 기체 분석기 등
2. 기체 질량 유량 센서 FS4000 시리즈(FS4003 및 FS4008)제품 주요 특성
1) 내경 3mm 및 8mm 튜브의 저압 기체 유량 측정을 위해 설계
2) 다양한 연결 방식을 지원하여 설치 및 사용이 용이
3) 센싱 칩은 열 질량 유량 계측을 채택하여 온도 압력 보상이 필요 없으며, 센서의 고정밀 계측을 보장
4) 단일 칩에 다중 센서 통합을 구현하여 측정 범위 비가 100:1 이상에 도달
5) 출력 방식이 유연하며, 통신 인터페이스를 통해 데이터를 능동적으로 업로드하거나 상위 컴퓨터가 출력 데이터를 조회할 수 있으며, 아날로그 인터페이스를 통해 선형 아날로그 전압을 출력할 수도 있음
6) 제로점 안정도가 높음
7) 전체 범위에서 높은 안정성, 높은 정확도 및 우수한 반복성
8) 저전력, 저압력 손실
9) 빠른 응답 속도
3. 기체 질량 유량 센서 FS4000 시리즈(FS4003 및 FS4008)제품 기술 매개변수
| 성능 매개변수 |
FS4003 |
FS4008 |
단위 |
| 통경 |
3 |
8 |
mm |
| 유량 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
| 측정 범위 비 |
100:1 |
|
|
| 정확도 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
| 반복성 |
0.75 |
% |
|
| 제로점 출력 드리프트 |
±30 |
mV |
|
| 출력 드리프트 |
±0.12 |
%/oC |
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| 응답 시간 |
10(기본값, 20, 50, 100, 200, 500, 1000으로 설정 가능) |
ms |
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| 작동 전원 |
8~18Vdc,100mA |
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|
| 출력 방식 |
선형, RS232/아날로그 전압 0.5~4.5Vdc |
|
|
| 유량 압력 손실 |
100 |
600 |
pa |
| 작동 압력 |
0.5 |
MPa |
|
| 작동 온도 |
-10 ~ +55 |
℃ |
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| 보관 온도 |
-20 ~ +65 |
℃ |
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| 작동 습도 |
<95%RH(결빙, 결로 없음) |
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| 기계 인터페이스 |
BSPT1/4(R1/4), 4mm/6mm/8mm 퀵 커넥터 |
BSPT1/4(R1/4) |
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| 교정 방식 |
공기(또는 기타 기체), 20℃, 101.325kPa |
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| 무게 |
57(R1/4, BSPT1/4 인터페이스 포함) |
g |
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| 71(4mm, 8mm 퀵 인터페이스 포함) |
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| 68(6mm 퀵 커넥터 포함) |
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