製品紹介
スイスIST熱式質量流量センサーMFS02は高速応答のガス流量および方向測定に適しています
スイスIST熱式質量流量センサーMFS02の特長：
大流量と高速応答の用途向けに、CTAモードで極めて高い分解能
ブリッジ回路による極低流量測定とリーク検出用途に適しています
CTAモードでの非常に高い測定ダイナミックレンジ（10,000,000:1）、バイパスモードなし
腐食性ガスおよび蒸気に対する高い耐薬品性
異なる感度と回路トポロジーを選択可能
ユーザーカスタマイズ対応
流れ方向の測定が可能
スイスIST熱式質量流量センサーMFS02のパラメータ：
| パラメータ |
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| 寸法 (L / L2 x W x H / H2 in mm) |
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| チップ
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5.0 x 3.4 x 0.5
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| PCB標準 |
38.2 x 10.8 x 1.0 / 2.0 |
| PCB露出 |
34.2 / 37.4 x 10.8 x 1.0 / 2.0 |
| 測定範囲 |
0 m/s～1.5 m/s（フルブリッジモード） 0 ml/min～100 ml/min（フルブリッジモード） 0 m/s～150 m/s（CTAモード） 0 l/min～10 l/min（CTAモード） |
| 最小測定範囲 |
0 ml/min to 1 ml/min |
| 応答感度 |
0.0003 m/s (20 microliter/min) |
| 測定精度 |
<実値の2%（回路と校正による） |
| 応答時間 t63 |
< 10 ms |
| 温度範囲（チップ） |
-40 °C to +160 °C |
| 温度範囲（ガス） |
-40 °C～+80 °C（チップ温度より最大+80 °C低い） |
| 温度感度 |
< 0.1 % / K（回路設計による） |
| 接続方法 |
パッド接続 |
スイスIST熱式質量流量センサーMFS02の寸法：
