제품 소개
1.미국 SiargoMEMS 가스 질량 유량 센서 FS1015CL 시리즈제품 설명：
FS1015CL 시리즈 MEMS 가스 질량 유량 센서는 각종 의료용 가스 측정 및 공정 제어를 위해 설계되었습니다. 제품은 MEMS 유량 감지 칩을 사용하여 제작되며, 각종 청정 가스에 적합합니다. 저비용, 설치 용이, 온도 압력 보상 불필요, 용적식 또는 차압식 기존 유량계를 대체할 수 있습니다.
2.미국 SiargoMEMS 가스 질량 유량 센서 FS1015CL 시리즈제품 특징:
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인공호흡기 및 마취기의 유량 측정 요구를 위해 설계
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고감도, 열식 질량 유량계 원리를 적용하여 최저 8mm/sec의 유체 유량 측정 가능
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바이패스 구조 없음, 저압 손실
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센서의 영점 안정성이 높음
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소독액 살균 처리 후 재사용 가능
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자동 범위 전환 스위치 설계로 측정 정밀도 향상
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호스트 장치의 사용자 인터페이스에서 선형 출력을 쉽게 구현
3.미국 SiargoMEMS 가스 질량 유량 센서 FS1015CL 시리즈기계 도면:
4.미국 SiargoMEMS 가스 질량 유량 센서 FS1015CL 시리즈기술 사양:
| 제품 |
FS1015CL |
단위 |
| 유량 범위 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
| 범위 비율 |
100：1 |
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| 정밀도 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
| 반복성 |
0.25 |
% |
| 영점 출력 드리프트 |
±30 |
mV |
| 출력 드리프트 |
±0.12 |
%/ ℃ |
| 응답 시간 |
8 |
ms |
| 작동 전압 |
5±1% |
Vdc |
| 출력 방식 |
선형, 아날로그 전압 0.5~4.5Vdc |
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| 유량 압력 손실 |
1300 |
Pa |
| 작동 압력 |
0.2 |
MPa |
| 작동 온도 |
-10~+55 |
℃ |
| 보관 온도 |
-20~+65 |
℃ |
| 작동 습도 |
<95%RH(결빙, 결로 없음) |
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| 전기 인터페이스 |
5핀 커넥터, AMP 103956-4 |
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| 기계 인터페이스 |
ISO-15mm |
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| 교정 방식 |
공기, 20℃, 101.325kPa |
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| 무게 |
21.5 |
g |
