アメリカSiargo MEMS質量流量センサー - FS1100シリーズ

アメリカSiargo MEMS質量流量センサーFS1100シリーズ説明：

FS1100シリーズ質量流量センサーは、当社独自開発のMEMS流量センサーチップを使用して作られ、温度センサーを統合し、ICと2系統のアナログ電圧信号出力を同時に提供できます。センサーは質量流量を直接測定し、温度・圧力補正は不要で、設計構造がコンパクトでデッドスペースが小さく、各種医療用人工呼吸器に適しています。

アメリカSiargo MEMS質量流量センサーFS1100シリーズ パラメータ：

項目	パラメータ	単位
流量範囲	-250~ +250SLPM
流量レンジ比	100:1
流量精度'	±(2.0+0.5FS)	%
流量再現性	0.5	%
温度範囲	-20~+80	°C
温度精度	±2.5	°C
応答時間	5	ms
動作電源	5(±5%)	VDC
出力方式	直線性:2系統アナログ電圧0.5~2.5VDC, IC
Zui大流量圧損	<2000Pa@200SL PM
Zui最大使用圧力	0.5	Mpa
保存温度	-20~+65	°C
電気的インターフェース	Molex 87831- 1041(THT)
適合性.	RoHS，REACH

備考: 1, センサーの測定精度を確保するため、使用前に予熱が必要です- -分;

2,上記パラメータは20°C, 101 .325kPaで測定されました。