미국 Siargo MEMS 질량 유량 센서 - FS1100 시리즈

미국 Siargo MEMS 질량 유량 센서FS1100 시리즈 설명:

FS1100 시리즈 질량 유량 센서는 당사가 자체 개발한 미세전자기계시스템(MEMS) 유량 감지 칩을 사용하여 제작되었으며, 온도 센서가 통합되어 IC 및 이중 아날로그 전압 신호 출력을 동시에 제공할 수 있습니다. 센서는 질량 유량을 직접 측정하므로 온도 압력 보상이 필요 없으며, 구조가 콤팩트하고 데드 스페이스가 작아 다양한 의료용 인공호흡기에 적합합니다.

미국 Siargo MEMS 질량 유량 센서FS1100 시리즈 매개변수:

항목	매개변수	단위
유량 범위	-250~ +250SLPM
유량 범위 비율	100:1
유량 정확도'	±(2.0+0.5FS)	%
유량 반복성	0.5	%
온도 범위	-20~+80	°C
온도 정확도	±2.5	°C
응답 시간	5	ms
작동 전원	5(±5%)	VDC
출력 방식	선형성:이중 아날로그 전압0.5~2.5VDC, IC
Zui대유량 압력 손실	<2000Pa@200SL PM
Zui최대 작동 압력	0.5	Mpa
보관 온도	-20~+65	°C
전기 인터페이스	Molex 87831- 1041(THT)
적합성.	RoHS，REACH

비고: 1, 센서의 측정 정확도를 보장하려면 사용 전 예열이 필요합니다- -분;

2,위 매개변수는20°C, 101 .325kPa에서 측정되었습니다.