Поставщик промышленных компонентов - Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометр - серия MTCS2300

Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометр - серия MTCS2300

Не зависит от ориентации установки
Малые размеры, высокая ударопрочность (>1000 G)
Устойчивость к коррозионным газам, таким как водород, с использованием золотых контактов

Модель продукта: Серия MTCS2300

Описание продукта

Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометрОписание MTCS2300:

Манометр MTCS2300 - это специализированный MEMS-прибор, измеряющий теплопроводность по принципу Пирани, в компактном корпусе TO8 или TO39.

Датчик использует никель-платиновую резистивную MEMS-технологию, объединяя большую микромеханическую мембрану из нитрида кремния с низким напряжением, два тонкопленочных резистора для нагрева и два компенсационных опорных резистора на объемном кремнии в миниатюрном корпусе.

Эта MEMS-структура в сочетании с простой стандартной КМОП-интегральной схемой для питания и анализа температуры является подходящим решением для OEM-датчиков вакуума, критичных к размерам, требующих сверхнизкого энергопотребления, отличного соотношения сигнал/шум и устойчивости к коррозионным газам.

Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометрMTCS2300 Особенности:

Расширенный диапазон измерения 10-4 ~ 1000 мбар

MEMS-микромеханический кремниевый датчик с идеально согласованной геометрией и сопротивлением

Сверхмалый объем газа датчика < 0,1 см3

Расстояние от микропроволоки Пирани до стенки регулируется кремниевой микромеханикой и может быть уменьшено до 10 мкм или 20 мкм, обеспечивая отличную воспроизводимость датчика

MEMS-кремниевый датчик с большим встроенным резистором 250 Ом и малым нагревательным элементом обеспечивает сверхнизкое энергопотребление (< 6 мВт)

Сверхбыстрое время отклика < 50 мс

Благодаря аналогичным нагревательным и опорным резисторам, температурная компенсация легко достигается в микроструктурном платиново-никелевом тонкопленочном процессе

Не зависит от ориентации установки

Малые размеры, высокая ударопрочность (>1000 G)

Устойчивость к коррозионным газам, таким как водород, с использованием золотых контактов

Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометрПрименение MTCS2300:

Обнаружение утечек

Двигательные установки

Производство полупроводников (например, камеры распыления)

Сублимационные сушилки

Вакуумные упаковщики мяса

Вакуумное напыление

Загрузочные шлюзы

Обычно, на основе принципа Пирани, для измерения давления в суровых условиях с ограниченной мощностью и размерами, например, в портативных аналитических приборах, системах с малыми механическими насосами

Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометрПараметры MTCS2300:

Швейцарский Neroxis теплопроводный газовый датчик, миниатюрный вакуумметр Пирани, манометрВыбор MTCS2300:

Информация для заказа
MTCS230X	X = 1 : MTCS2301 = контакты Al	X = 2 : MTCS2302 = контакты Au
Модель	Описание
MTCS230X-0	Только один сенсорный чип, без кремниевой крышки, корпус TO8
MTCS230X-10	Сенсорный чип с крышкой с воздушным зазором 10 мкм, корпус TO8
MTCS230X-20	Сенсорный чип с крышкой с воздушным зазором 20 мкм, корпус TO8