Датчик вакуума Пирани - F6000

Описание датчика вакуума Пирани F6000

Серия F6000 MEMS-датчиков вакуума Пирани предлагает прорывное решение для измерения вакуума. Датчик имеет миниатюрные размеры, а также обладает сверхнизким энергопотреблением, длительным сроком службы, низкими затратами на обслуживание и низкой стоимостью.

В соответствии с принципом «теплопроводность газа пропорциональна давлению в диапазоне низкого вакуума», датчики серии F6000 измеряют незначительные изменения сопротивления нагревательного элемента, вызванные передачей тепла окружающему газу.
Нагревательный элемент (измерительное сопротивление) представляет собой тонкопленочный платиновый резистор, размещенный на теплоизолирующей мембране. Мембрана подвешена над микромеханической полостью глубиной 25 мкм, дно которой параллельно мембране для обеспечения точного измерения скорости теплопередачи. Благодаря чрезвычайно малому объему измеряемого газа (объему полости) датчики Winsen обеспечивают сверхнизкое энергопотребление и быстрое время отклика.
Датчики серии F6000 также включают эталонный резистор с тем же температурным коэффициентом сопротивления (ТКС), что и измерительный резистор, размещенный на подложке чипа датчика. Схема датчика может использовать его для компенсации температуры окружающей среды.

Благодаря высокой надежности, низкой стоимости, простоте использования и сверхнизкому энергопотреблению, миниатюризированная технология Пирани, изготовленная по MEMS-технологии, становится отраслевым стандартом. Серия F6000 MEMS-датчиков вакуума Пирани может помочь клиентам использовать эту тенденцию для улучшения существующих продуктов и разработки новых.

Датчик вакуума Пирани F6000Абсолютные максимальные характеристики:
Рабочая температура: от -40°C до 125°C (доступны модели с более высокой температурой)
Влажность: от 0 до 100% относительной влажности, без конденсации
Ударопрочность: 1000g
Избыточное давление: 27,5 бар

Датчик вакуума Пирани F6000Характеристики датчика

Сверхнизкое энергопотребление <5 мВт
Быстрое время отклика <5 мс
Устойчивость к ударам до 1000g
Измеряемый объем газа от 0,1 см³
Низкий уровень шума
Высокое разрешение
Измерение температуры на том же чипе
Долговременная стабильность
Возможность очистки погружением в растворитель для продления срока службы

Датчик вакуума Пирани F6000Основные области применения

Аналитические приборы
Обнаружение утечек в закрытых системах с форвакуумным насосом
Полупроводниковое оборудование
Вакуумные упаковочные машины
Портативные цифровые вакуумметры
Малые механические системы (например, насосы) для достижения заданного вакуума
Недорогие вакуумные переключатели для проверки вакуума ниже 1 Торр