مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغط سلسلة MTCS2300
مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغط
مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغط

مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغط - سلسلة MTCS2300

غير متأثر بموضع التركيب
حجم صغير، مقاومة عالية للصدمات (>1000 G)
مقاومة للغازات المسببة للتآكل مثل الهيدروجين، باستخدام جهات اتصال ذهبية

طراز المنتج: سلسلة MTCS2300

مقدمة المنتج

مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغطوصف MTCS2300:

مقياس الضغط MTCS2300 هو جهاز MEMS متخصص، يقيس التوصيل الحراري وفقًا لمبدأ بياني، في حزمة صغيرة TO8 أو TO39.

يستخدم المستشعر تقنية MEMS لمقاومة النيكل والبلاتين، مع دمج غشاء كبير من نيتريد السيليكون منخفض الإجهاد ميكانيكيًا، ومقاومين للتدفئة، ومقاومين مرجعيين للتعويض على السيليكون، في حزمة مصغرة.

يجمع هذا الهيكل MEMS مع دوائر CMOS القياسية المتكاملة البسيطة للطاقة وتحليل درجة الحرارة، وهو مناسب لحلول استشعار الفراغ OEM الحرجة من حيث الحجم التي تتطلب طاقة منخفضة للغاية، ونسبة إشارة إلى ضوضاء ممتازة، ومقاومة للغازات المسببة للتآكل.



مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغطMTCS2300 الميزات:
نطاق قياس ممتد من 10^-4 إلى 1000 مليبار
مستشعر سيليكون ميكانيكي دقيق مع هندسة ومقاومات متطابقة تمامًا
حجم غاز المستشعر صغير جدًا أقل من 0.1 سم مكعب
مسافة سلك بياني الدقيق إلى الجدار مضبوطة ميكانيكيًا دقيقًا إلى 10 ميكرومتر أو 20 ميكرومتر، مع تكرارية ممتازة للمستشعر
استهلاك طاقة تشغيل منخفض للغاية (< 6 ميجاواط) بفضل مستشعر السيليكون MEMS مع مقاومة كبيرة 250 أوم وعنصر تسخين صغير
زمن استجابة فائق السرعة أقل من 50 مللي ثانية
تعويض درجة الحرارة سهل في عملية فيلم البلاتين والنيكل المصغر بفضل مقاومات التسخين والمرجعية المتشابهة
غير متأثر بموضع التركيب
حجم صغير، مقاومة عالية للصدمات (>1000 G)
مقاومة للغازات المسببة للتآكل مثل الهيدروجين، باستخدام جهات اتصال ذهبية


مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغطتطبيقات MTCS2300:
كشف التسرب
أجهزة الدفع
تصنيع أشباه الموصلات (مثل غرف الرش)
مجففات التجميد
آلات تغليف اللحوم بالفراغ
طلاء الفراغ
قفل التحميل


عادةً، قياس الضغط في البيئات القاسية المحدودة الطاقة والحجم بناءً على مبدأ بياني، مثل أجهزة التحليل المحمولة، وأنظمة المضخات الميكانيكية الصغيرة



مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغطمعلمات MTCS2300:


مستشعر الغاز الحراري السويسري Neroxis مقياس بياني الفراغ المصغر مقياس الضغطاختيار MTCS2300:

معلومات الطلب

MTCS230X

X = 1: MTCS2301 = جهات اتصال الألومنيوم

X = 2: MTCS2302 = جهات اتصال الذهب

الطراز

الوصف

MTCS230X-0

رقاقة استشعار واحدة فقط، بدون غطاء سيليكون، حزمة TO8

MTCS230X-10

رقاقة استشعار مع غطاء فجوة هوائية 10 ميكرومتر، حزمة TO8

MTCS230X-20

رقاقة استشعار مع غطاء فجوة هوائية 20 ميكرومتر، حزمة TO8