제품 소개
스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 마이크로 피라니 진공계 압력계MTCS2300 설명:
MTCS2300 압력계는 피라니 원리에 따라 열전도율을 측정하는 전용 MEMS 소자로, 소형 TO8 또는 TO39 패키지입니다.
이 센서는 니켈-백금 저항 MEMS 기술을 사용하여 대형 미세 가공 저응력 질화규소 막, 가열용 박막 저항 2개, 벌크 실리콘 위의 보상용 기준 저항 2개를 소형 패키지에 통합합니다.
이 MEMS 구조는 전원 및 온도 분석을 위한 간단한 CMOS 표준 집적 회로와 결합되어 초저전력, 우수한 신호 대 잡음비 및 부식성 가스 내성이 요구되는 크기 제약적인 진공 OEM 센싱 솔루션에 적합합니다.
일반적으로 피라니 원리에 기반하여 전력 및 크기 제약이 있는 열악한 환경에서 압력 측정에 사용됩니다. 예: 휴대용 분석 기기, 소형 기계식 펌프 시스템
스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 마이크로 피라니 진공계 압력계MTCS2300 매개변수:
스위스 Neroxis 열전도식 가스 센서 마이크로 피라니 진공계 압력계MTCS2300 선정:
| 주문 정보 |
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| MTCS230X |
X = 1 : MTCS2301 = Al 접점 |
X = 2 : MTCS2302 = Au 접점 |
| 모델 |
설명 |
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| MTCS230X-0 |
센싱 칩만 있으며 실리콘 캡 없음, TO8 패키지 |
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| MTCS230X-10 |
10µm 에어 갭 캡이 있는 센싱 칩, TO8 패키지 |
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| MTCS230X-20 |
20µm 에어 갭 캡이 있는 센싱 칩, TO8 패키지 |
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