Proveedor de componentes industriales - Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetro - serie MTCS2300

Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetro - serie MTCS2300

No afectado por la posición de instalación
Tamaño pequeño, alta resistencia a impactos (>1000 G)
Resistente a gases corrosivos como el hidrógeno, con contactos de oro

Modelo del producto: Serie MTCS2300

Introducción del producto

Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetroDescripción de MTCS2300:

El manómetro MTCS2300 es un dispositivo MEMS especializado que mide la conductividad térmica según el principio de Pirani, en un encapsulado pequeño TO8 o TO39.

Este sensor utiliza tecnología MEMS de resistencia de níquel y platino, integrando una gran membrana micro-mecanizada de nitruro de silicio de baja tensión, dos resistencias de película para calefacción y dos resistencias de referencia para compensación en silicio, en un encapsulado miniaturizado.

Esta estructura MEMS combina circuitos integrados estándar CMOS simples para alimentación y análisis de temperatura, siendo adecuada para soluciones de sensores de vacío OEM de tamaño crítico que requieren ultra bajo consumo de energía, excelente relación señal-ruido y resistencia a gases corrosivos.

Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetroMTCS2300 Características:

Rango de medición extendido de 10-4 a 1000 mbar

Sensor de silicio micro-mecanizado MEMS con geometría y resistencias perfectamente emparejadas

Volumen de gas del sensor ultra pequeño de < 0.1 cm3

La distancia del microhilo de Pirani a la pared se ajusta mediante micro-mecanizado de silicio, pudiendo reducirse a 10 µm o 20 µm, con excelente repetibilidad del sensor

Sensor de silicio MEMS con gran resistencia integrada de 250 ohmios y pequeño elemento calefactor, por lo que tiene un consumo de energía ultra bajo (< 6 mW)

Tiempo de respuesta ultra rápido < 50 ms

Debido a las resistencias de calefacción y de referencia similares, la compensación de temperatura se logra fácilmente en el proceso de película delgada de platino y níquel microestructurado

No afectado por la posición de instalación

Tamaño pequeño, alta resistencia a impactos (>1000 G)

Resistente a gases corrosivos como el hidrógeno, con contactos de oro

Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetroAplicaciones de MTCS2300:

Detección de fugas

Dispositivos de propulsión

Fabricación de semiconductores (por ejemplo, cámaras de pulverización catódica)

Liofilizadores

Máquinas de envasado de carne al vacío

Recubrimiento al vacío

Cámaras de carga

Generalmente, basado en el principio de Pirani, se utiliza para medición de presión en entornos hostiles con limitaciones de potencia y tamaño, como instrumentos analíticos portátiles y sistemas de bombas mecánicas pequeñas

Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetroParámetros de MTCS2300:

Sensor de gas de conductividad térmica Neroxis de Suiza, vacuómetro de Pirani miniaturizado, manómetroSelección de MTCS2300:

Información de pedido
MTCS230X	X = 1: MTCS2301 = contactos de Al	X = 2: MTCS2302 = contactos de Au
Modelo	Descripción
MTCS230X-0	Solo un chip sensor, sin tapa de silicio, encapsulado TO8
MTCS230X-10	Chip sensor con tapa de espacio de aire de 10 µm, encapsulado TO8
MTCS230X-20	Chip sensor con tapa de espacio de aire de 20 µm, encapsulado TO8