سلسلة AMTAGP3 مقياس فراغ مركب (بيراني وكاثود بارد) - سلسلة AMTAGP3
معلمات سلسلة AMTAGP3
| 参数 | القيمة |
|---|---|
| Supply voltage | 15~30VDC |
| نطاق القياس (N₂ والهواء) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| الدقة N₂ | ±30% من القراءة |
| التكرارية (N₂) | ±5% من القراءة |
| إشارة الخرج | 0~10VDC، متوافق مع RS485 |
| استهلاك الطاقة | ≤6W |
| واجهة الاتصال | RJ45 |
| وحدة العرض | Pa، Torr، mbar، قابلة للتبديل |
| المواد المكشوفة للهواء | فولاذ مقاوم للصدأ 304/431 |
| درجة حرارة التشغيل | 5~55℃ |
مقدمة المنتج
يجمع مقياس الفراغ المركب (بيراني وكاثود بارد) بين مبدأ التأين بالكاثود البارد لقياس الفراغ العالي ومبدأ بيراني لقياس الفراغ المنخفض، مما يحقق قياسًا دقيقًا عبر نطاق ضغط واسع؛ وهو مجهز بشاشة عرض بلورية سائلة ملونة (TFT-LCD) وتحكم بديهي بالأزرار، ويوفر خرج جهد تماثلي وبروتوكول اتصال RS485، مما يسهل على المستخدمين الاتصال وتبادل البيانات مع مختلف الأجهزة والأنظمة. يتميز بدقة عالية، واستهلاك منخفض للطاقة، وحساسية عالية، واستجابة سريعة، ومتانة قوية، ومقاومة جيدة للتلوث، وعدم الحاجة إلى تسخين الفتيل. يُستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ومجالات الطيران والفضاء، لتلبية متطلبات تطبيقات التحكم الحيوية اليوم.
مجالات التطبيق الرئيسية
- تصنيع أشباه الموصلات — مراقبة والتحكم في مستويات الفراغ العالي أثناء عمليات الترسيب والتنميش وطلاء الأغشية الرقيقة.
- صناعة الطيران والفضاء — اختبار محاكاة الفضاء ومراقبة الفراغ في أنظمة الدفع والمكونات الفضائية.
- طلاء الفراغ — قياس والتحكم في الضغط داخل غرف الطلاء الفراغي لضمان جودة الطلاء.
- أبحاث وتطوير المعامل — قياس الفراغ الدقيق في التجارب العلمية وأنظمة المعالجة الحرارية الفراغية.
- صناعة الزجاج والأغشية الرقيقة — مراقبة الفراغ في عمليات الطلاء بالرش المهبطي والتبخر لضمان جودة الأغشية.
الكلمات المفتاحية：مقياس فراغ مركب, مقياس بيراني, مقياس كاثود بارد, مقياس ضغط فراغ, مستشعر فراغ, مقياس فراغ صناعي, AMTAGP3, قياس الفراغ العالي
