Série AMTAGP3 Medidor de Vácuo Composto (Pirani e Cátodo Frio) - Série AMTAGP3
Parâmetros da Série AMTAGP3
| 参数 | Valor |
|---|---|
| 供电电压 | 15~30VDC |
| Faixa de medição (N₂ e ar) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| Precisão N₂ | ±30% da leitura |
| Repetibilidade (N₂) | ±5% da leitura |
| Sinal de saída | 0~10VDC, compatível com RS485 |
| Consumo de energia | ≤6W |
| Interface de comunicação | RJ45 |
| Unidade de exibição | Pa, Torr, mbar, comutável |
| Materiais expostos ao ar | Aço inoxidável 304/431 |
| Temperatura de trabalho | 5~55℃ |
Introdução do produto
O medidor de vácuo composto (Pirani e cátodo frio) combina os princípios da ionização por cátodo frio para medição de alto vácuo e do método Pirani para medição de baixo vácuo, alcançando medição precisa em ampla faixa de pressão; é equipado com tela de cristal líquido colorida (TFT-LCD) e controle intuitivo por botões, oferecendo saída de tensão analógica e protocolo de comunicação RS485, facilitando a conexão e troca de dados com diversos dispositivos e sistemas. Possui características como alta precisão, baixo consumo de energia, alta sensibilidade, resposta rápida, alta durabilidade, boa resistência à contaminação e não requer filamento de aquecimento. Amplamente utilizado na fabricação de semicondutores e no setor aeroespacial, atendendo às demandas atuais de aplicações críticas de controle.
Principais áreas de aplicação
- Fabricação de Semicondutores — Monitoramento de vácuo em processos de deposição, gravação e implantação iônica.
- Aeroespacial — Testes de simulação espacial e sistemas de vácuo em satélites e componentes.
- Revestimento a Vácuo — Controle de pressão em câmaras de pulverização catódica e evaporação térmica.
- Pesquisa Científica — Experimentos de física de superfície e análise de materiais em ultra-alto vácuo.
- Indústria de Iluminação — Produção de lâmpadas e tubos de vácuo com controle preciso de pressão.
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