产品介绍
複合真空計（ピラニおよび冷陰極）は、冷陰極電離法による高真空測定とピラニ法による低真空測定の原理を融合し、広い圧力範囲での精密測定を実現します。カラー液晶ディスプレイ（TFT-LCD）と直感的なボタン操作を備え、アナログ電圧出力とRS485通信プロトコルを提供し、各種機器やシステムとの接続およびデータ交換を容易にします。高精度、低消費電力、高感度、高速応答、高耐久性、優れた耐汚染性、加熱フィラメント不要などの特徴を有します。半導体製造、航空宇宙分野で広く応用され、今日の重要な制御アプリケーションのニーズを満たします。
主な応用分野
- 半導体製造 — スパッタリング、蒸着、エッチングなどの真空プロセスにおける圧力監視と制御に使用されます。
- 航空宇宙 — 宇宙環境試験や推進システムの真空チャンバー内の圧力測定に適しています。
- 研究開発 — 表面科学、材料研究、加速器などの高真空・超高真空実験における精密圧力測定に利用されます。
- 産業コーティング — 真空コーティング装置内の圧力モニタリングに最適で、膜厚の均一性と品質を確保します。
- 冷凍・空調 — 真空引き工程や冷媒充填前の真空度確認に使用され、システムの信頼性を高めます。
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