AMTAGP3-Serie Kombiniertes Vakuummeter (Pirani und Kaltkathode) - AMTAGP3-Serie
AMTAGP3-Serie Parameter
| 参数 | Wert |
|---|---|
| 供电电压 | 15~30VDC |
| Messbereich (N₂ und Luft) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| Genauigkeit N₂ | ±30 % vom Messwert |
| Reproduzierbarkeit (N₂) | ±5 % vom Messwert |
| Ausgangssignal | 0~10 VDC, kompatibel mit RS485 |
| Leistungsaufnahme | ≤6W |
| Kommunikationsschnittstelle | RJ45 |
| Anzeigeeinheit | Pa, Torr, mbar, umschaltbar |
| Der Luft ausgesetzte Materialien | Edelstahl 304/431 |
| Arbeitstemperatur | 5~55℃ |
Produktvorstellung
Das kombinierte Vakuummeter (Pirani und Kaltkathode) vereint das Prinzip der Kaltkathoden-Ionisation zur Messung von Hochvakuum und das Pirani-Prinzip zur Messung von Niedervakuum und ermöglicht eine präzise Messung über einen breiten Druckbereich; es ist mit einem Farb-LCD-Display (TFT-LCD) und einer intuitiven Tastensteuerung ausgestattet, bietet analogen Spannungsausgang und RS485-Kommunikationsprotokoll, was den Anschluss und Datenaustausch mit verschiedenen Geräten und Systemen erleichtert. Es zeichnet sich durch hohe Präzision, niedrigen Energieverbrauch, hohe Empfindlichkeit, schnelle Ansprechzeit, hohe Langlebigkeit, gute Kontaminationsbeständigkeit und keine Notwendigkeit einer Heizfaden aus. Es wird weit verbreitet in der Halbleiterfertigung und der Luft- und Raumfahrt eingesetzt und erfüllt die Anforderungen heutiger kritischer Steuerungsanwendungen.
Hauptanwendungsbereiche
- Halbleiterfertigung — Überwachung und Steuerung von Vakuumprozessen wie Ätzen, CVD und PVD, bei denen präzise Druckmessungen über einen weiten Bereich erforderlich sind.
- Luft- und Raumfahrt — Vakuumtests und Simulation von Weltraumbedingungen für Komponenten und Systeme, die extremen Druckunterschieden standhalten müssen.
- Beschichtungstechnik — Druckregelung in Vakuumbeschichtungsanlagen zur Sicherstellung gleichmäßiger Schichtdicken und hoher Qualität.
- Forschungsinstitute — Allgemeine Vakuummessung in wissenschaftlichen Laboren und Forschungseinrichtungen für Experimente unter kontrollierten Druckbedingungen.
- Industrielle Vakuumöfen — Überwachung des Vakuumniveaus in Wärmebehandlungs- und Sinterprozessen zur Gewährleistung der Produktqualität.
Schlüsselwörter：Kombiniertes Vakuummeter, Pirani Kaltkathode, Vakuummessgerät, Breitband-Vakuummeter, Drucksensor Vakuum, AMTAGP3, Vakuummessung, Kombinations-Vakuummeter
