Medidor de vacío compuesto serie AMTAGP3 (Pirani y cátodo frío) - Serie AMTAGP3
Parámetros de la serie AMTAGP3
| Parámetros | Valor |
|---|---|
| Voltaje de alimentación | 15~30VDC |
| Rango de medición (N₂ y aire) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| Precisión N₂ | ±30% de la lectura |
| Repetibilidad (N₂) | ±5% de lectura |
| Señal de salida | 0~10VDC, compatible con RS485 |
| Consumo de energía | ≤6W |
| Interfaz de comunicación | RJ45 |
| Unidad de visualización | Pa, Torr, mbar, conmutables |
| Materiales expuestos al aire | Acero inoxidable 304/431 |
| Temperatura de trabajo | 5~55℃ |
Introducción del producto
El medidor de vacío compuesto (Pirani y cátodo frío) combina el principio de ionización de cátodo frío para medir alto vacío y el principio Pirani para medir bajo vacío, logrando una medición precisa en un amplio rango de presión; está equipado con una pantalla de cristal líquido a color (TFT-LCD) y control intuitivo por botones, ofrece salida de voltaje analógico y protocolo de comunicación RS485, lo que facilita la conexión e intercambio de datos con diversos equipos y sistemas. Posee características como alta precisión, bajo consumo de energía, alta sensibilidad, respuesta rápida, gran durabilidad, buena resistencia a la contaminación y no requiere filamento calefactor. Se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores y el sector aeroespacial, satisfaciendo las necesidades actuales de aplicaciones de control críticas.
Principales áreas de aplicación
- Fabricación de semiconductores — Monitoreo preciso de vacío en procesos de deposición, grabado y recubrimiento.
- Aeroespacial — Medición de vacío en cámaras de simulación espacial y sistemas de propulsión.
- Investigación científica — Control de vacío en aceleradores de partículas y laboratorios de física.
- Recubrimiento al vacío — Supervisión de presión en sistemas de pulverización catódica y evaporación.
- Industria de iluminación — Control de vacío en la fabricación de lámparas y tubos de vacío.
Palabras clave：medidor de vacío compuesto, sensor Pirani, sensor de cátodo frío, vacuómetro industrial, medición de vacío amplio rango, transductor de vacío RS485, medidor de vacío 0-10V, sensor de vacío para semiconductores
