Série AMTAGP3 Jauge de vide composite (Pirani et cathode froide) - Série AMTAGP3
Paramètres de la série AMTAGP3
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 供电电压 | 15~30VDC |
| Plage de mesure (N₂ et air) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| Précision N₂ | ±30 % de la lecture |
| Répétabilité (N₂) | ±5% de la lecture |
| Signal de sortie | 0~10VDC, compatible RS485 |
| Consommation électrique | ≤6W |
| 通信接口 | RJ45 |
| Unité d'affichage | Pa, Torr, mbar, commutable |
| Matériaux exposés à l'air | Acier inoxydable 304/431 |
| Température de fonctionnement | 5~55℃ |
Présentation du produit
La jauge de vide composite (Pirani et cathode froide) combine les principes de mesure de l'ionisation à cathode froide pour le vide poussé et de la méthode Pirani pour le vide faible, permettant une mesure précise sur une large plage de pression ; elle est équipée d'un écran à cristaux liquides couleur (TFT-LCD) et d'une commande intuitive par boutons, offrant une sortie de tension analogique et un protocole de communication RS485, facilitant la connexion et l'échange de données avec divers équipements et systèmes. Elle présente les caractéristiques d'une haute précision, d'une faible consommation d'énergie, d'une sensibilité élevée, d'une réponse rapide, d'une grande durabilité, d'une bonne résistance à la contamination et de l'absence de filament chauffant. Largement utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs et le domaine aérospatial, elle répond aux exigences des applications de contrôle critiques actuelles.
Principaux domaines d'application
- Fabrication de semi-conducteurs — Contrôle précis du vide dans les procédés de dépôt, gravure et implantation ionique.
- Aérospatiale — Surveillance de la pression dans les chambres de simulation spatiale et les systèmes de propulsion.
- Recherche et développement — Mesure fiable dans les laboratoires de physique des surfaces et d'analyse des matériaux.
- Métallurgie sous vide — Contrôle du vide dans les fours de fusion et de traitement thermique sous vide.
- Industrie pharmaceutique — Surveillance du vide dans les procédés de lyophilisation et de séchage sous vide.
Mots-clés：jauge de vide composite, jauge Pirani cathode froide, capteur de vide large plage, jauge de vide RS485, mesure vide 10-6 Pa, jauge vide semi-conducteur, transmetteur de vide industriel, jauge de vide haute précision
