Серия AMTAGP3 Комбинированный вакуумметр (Пирани и холодный катод) - Серия AMTAGP3
Параметры серии AMTAGP3
| 参数 | Значение |
|---|---|
| 供电电压 | 15~30VDC |
| Диапазон (N₂ и воздух) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| Точность N₂ | ±30% от показания |
| Воспроизводимость (N₂) | ±5% от показания |
| Выходной сигнал | 0~10 В пост. тока, совместим с RS485 |
| 功耗 | ≤6W |
| 通信接口 | RJ45 |
| Единица отображения | Па, Торр, мбар, переключаемые |
| Материалы, подвергаемые воздействию воздуха | Нержавеющая сталь 304/431 |
| 工作温度 | 5~55℃ |
产品介绍
Комбинированный вакуумметр (Пирани и холодный катод) объединяет принципы измерения высокого вакуума методом холодной катодной ионизации и низкого вакуума методом Пирани, обеспечивая точное измерение в широком диапазоне давлений; оснащён цветным ЖК-дисплеем (TFT-LCD) и интуитивным кнопочным управлением, обеспечивает аналоговый выход напряжения и протокол связи RS485, что удобно для подключения и обмена данными с различными устройствами и системами. Обладает такими характеристиками, как высокая точность, низкое энергопотребление, высокая чувствительность, быстрое реагирование, высокая долговечность, хорошая устойчивость к загрязнению, отсутствие необходимости в нагреваемом катоде. Широко применяется в производстве полупроводников и аэрокосмической отрасли, удовлетворяя современные потребности в критически важных системах управления.
Основные области применения
- Полупроводниковая промышленность — Контроль вакуума в процессах напыления, травления и литографии для обеспечения качества плёнок и структур.
- Аэрокосмическая отрасль — Измерение давления в испытательных камерах, имитирующих космический вакуум, и в системах жизнеобеспечения.
- Научные исследования — Точные измерения в вакуумных установках для физических и химических экспериментов, включая ускорители и масс-спектрометры.
- Вакуумные печи и напылительные системы — Мониторинг и управление вакуумом в печах отжига, установках PVD/CVD и других технологических процессах.
- Аналитическое оборудование — Интеграция в электронные микроскопы, масс-спектрометры и другие приборы, требующие широкодиапазонного измерения вакуума.
Ключевые слова：комбинированный вакуумметр, вакуумметр Пирани, вакуумметр холодный катод, широкодиапазонный вакуумметр, вакуумметр AMTAGP3, датчик вакуума, измеритель вакуума, промышленный вакуумметр
