AMTAGP3 시리즈 복합 진공 게이지(피라니 및 콜드 캐소드) - AMTAGP3 시리즈
AMTAGP3 시리즈 파라미터
| 파라미터 | 수치 |
|---|---|
| 공급 전압 | 15~30VDC |
| 측정 범위 (N₂ 및 공기) | 1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵Pa |
| 정밀도 N₂ | ±30% 판독값 |
| 반복성 (N₂) | ±5% 판독값 |
| 출력 신호 | 0~10VDC, RS485 호환 |
| 전력 소비 | ≤6W |
| 통신 인터페이스 | RJ45 |
| 표시 단위 | Pa, Torr, mbar, 전환 가능 |
| 공기에 노출된 재료 | 304/431 스테인리스 스틸 |
| 작동 온도 | 5~55℃ |
제품 모델: AMTAGP3 시리즈
제품 소개
복합 진공 게이지(피라니 및 콜드 캐소드)는 콜드 캐소드 이온화법으로 고진공을 측정하고 피라니법으로 저진공을 측정하는 원리를 융합하여 넓은 압력 범위에서 정밀한 측정을 구현합니다. 컬러 액정 디스플레이(TFT-LCD)와 직관적인 버튼 제어를 갖추고 있으며, 아날로그 전압 출력과 RS485 통신 프로토콜을 제공하여 사용자가 다양한 장치 및 시스템과 연결하고 데이터를 교환할 수 있습니다. 높은 정밀도, 낮은 에너지 소비, 높은 감도, 빠른 응답, 뛰어난 내구성, 우수한 오염 저항성, 가열 필라멘트 불필요 등의 특징을 가지고 있습니다. 반도체 제조, 항공우주 분야에 널리 응용되어 오늘날의 핵심 제어 응용 요구를 충족합니다.
주요 응용 분야
- 반도체 제조 — 식각, 증착, 이온 주입 등 진공 공정에서 고진공 및 저진공을 연속적으로 정밀 모니터링합니다.
- 항공우주 — 우주 환경 시뮬레이션 챔버 및 추진 시스템 테스트에서 넓은 압력 범위의 진공 측정에 사용됩니다.
- 진공 열처리 — 진공로 및 열처리 공정에서 공정 압력을 실시간으로 측정하고 제어합니다.
- 박막 증착 — 스퍼터링 및 증발 증착 공정에서 진공도를 정확히 모니터링하여 박막 품질을 보장합니다.
- 연구 및 실험실 — 다양한 과학 연구 및 실험실 진공 시스템에서 신뢰성 높은 압력 측정을 제공합니다.
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